用纳米压痕法表薄膜的应力-应变关系.pdfVIP

摘 要 近年来，薄膜科学愈来愈受到重视，对其力学性能的研究已成为热门领域。 纳米压痕测试技术作为一种测量薄膜材料力学性能的方法，以其高度的位移分辨 率、超低载荷及连续测量能力倍受青睐。本文以纳米压痕法结合量纲分析及有限 元方法来测量薄膜材料的应力-应变关系。 本文的工作主要分为两个部分：第一部分是建立用纳米压痕法测量薄膜应力- 应变关系的理论框架；第二部分是实际测定电沉积镍镀层的应力-应变关系。 本文首先介绍了本课题的研究背景和研究现状，对纳米压痕技术进行了较为 详细的叙述，阐明了我们选取本课题的依据。接着按如下思路归纳出了测量脆性 薄膜/韧性基底、脆性薄膜/脆性基底、韧性薄膜/脆性基底以及韧性薄膜/韧性基 底四种膜/基组合材料力学性能的理论框架：首先用量纲分析的方法将纳米压痕过 程与被测材料的力学性能，如弹性模量、屈服强度及应变硬化指数等联系起来， 建立起两者之间简单的无量纲函数关系的结构形式，其次用有限元方法模拟压头 压入材料的过程，分析得到无量纲函数的具体形式，最后根据实测的载荷-位移曲 线确定所需测量的力学性能参量。本文另一主要工作是详细介绍了用纳米压痕法 测量电沉积镍镀层应力-应变关系的过程。用 ABAQUS 有限元软件模拟了 Berkovich 压头压入镍镀层 1000nm 的压痕过程，结合量纲分析得到的无量纲函数 关系式与实测的载荷-位移曲线，求得了电沉积镍镀层的屈服强度与应变硬化指 数。本文还引用了马德军用纳米压痕法测量韧性薄膜/脆性基底组合材料的力学性 能的工作。根据这两个实例，我们证明了该理论框架的可行性。 关键词：电沉积镍镀层；纳米压痕法；量纲分析；应力-应变关系；有限元法； 膜/基体系 i ABSTRACT Recently, more and more attentions have been paid to thin films, and research of the mechanical properties of thin films gets to be a hot subject. As a method to evaluate the mechanical properties of thin films, nanoindentation technique is in the popularity for it s high displacement resolution, ultra low load and the capability of continuous measurement. In this master thesis, the stress-strain relationships of thin films were measured by nanoindentation combined with dimensional analysis and finite element method. Two main parts are contained in this master thesis. In the first part, a theory frame was established to extract the stress-strain relationships of thin films by nanoindentation. In the second part, the stress-strain relationship of electrodeposited nickel coating was measured. At the beginning of this thesis, related research bac