反应等离子喷涂iN涂层的研究.pdfVIP

——。．塑苎!些查兰竺土兰堡丝：：j!：． ： 反应等离子喷涂纳米TiN涂层的研究 摘要 纳米涂层材料已成为表面工程研究领域的一个重要分支，而反应刍!成纳米涂层材料 由于具有更为优异的性能，成为近年来的研究热点。 自行研制了气体隧道反应等离子喷枪，并用于反应等离子喷涂，通过喷涂Ti粉实现 Ti-N2反应制备出了纳米TiN涂层。本文主要研究了反应等离子喷涂TiN涂层的工艺参 数，涂层的力学与摩擦磨损性能，讨论了纳米TiN涂层形成的机理。利用XRD、SEM、 TEM及HRTEM等分析手段研究分析了涂层的结构、微观组织，以及涂层内的晶体缺 陷。 度最高可达Hvloo=2027．9。 试验结果表日爿，反应等离子喷涂TiN涂层主要由TiN相以及极少量Ti的氧化物组 成。TiN涂层呈波浪状多层组织，涂层组织致密，层间结合情况良好。TEM分析表明， 涂层由卣径50～70nm之间的纳米晶构成：高分辨观察说明，TiN涂层中的纳米微晶是被 非晶包围着的，纳米晶之间为小角度晶界。涂层中存在扩展位错、位错塞积列、 (孪) 晶界等晶体缺陷。 TiN涂层具有明显的硬度压痕尺寸效应，利用显微压痕技术计算出反应喷涂TiN涂层 2，明显高于热喷涂A1203及Zr02涂层。 的断裂韧性值为K，=4．51MPa·m 在无润滑条件下，反应等离子喷涂TiN涂层的耐磨性明显高于淬火M2钢，在高载荷 下，其剜磨性是M2钢的2．5倍：同时，由于TiN的自润滑效应，涂层的减摩性远远优于 M2钢，高载荷下摩擦系数仅是M2钢的5．3％。 反虑等离子喷涂TiN涂层本质上是等离子辅助化学气相沉积，以及Ti在N2气中燃烧 合成TiN。喷涂过程中参与反应的N元素来自离子气和反应室中的N2气，以后者为主。 关键词：等离子喷涂，反应喷涂，TiN涂层，纳米涂层 一，． 垦窒!鱼三竖堡垫娄：!旦堡量塑坐塑 ： ： INVESTIGATIONTHE 0N REACTIVE PLASMA SPRAYED NANoCRYSTALLINETITANlUM NITRIDECOATING ABSTRACT hasbeena inthe And TheNano—metred branchfieldofsurface the coating key engineering to formednano—metredcalledmoreinterestinthese theirfurther reactively coatings years，due improvedproperties． TiN was via theself- Nano—meter fabricatedreactive plasma coating spraying(RPS)，using andmade reactive