薄膜电感的制备究.pdfVIP

薄膜电感的制各研究 p159 摘要 095 摘要 ， ／为了得到在更高频率下适用的薄膜电感，在本实验中我们尝试制作了栅极 ＼ ? 型空心薄膜电感械们采用掩膜法，通过磁控溅射制各样品，在不加磁性材料的 情况下，适当选取线圈形状参数来得到较大的电感，由于形状参数的改变不影响 样品的适用频率，因而也能达到增大品质因数(Q值)的目的。此外为提高单位 面积的电感量，我们还尝试将两个分层的线圈串联，使电感值有明显的增大。本 实验中制作了单个线圈的样品l和样品2以及串联的样品3和样品4，文中报告 了这些薄膜电感的电感、电阻和Q值在100MHz．10GHz范围内的频谱特性。在 此频率范围内，四个样品的电感值显示了平稳的频率特性，其数值分别为130nil、 104Q，在这个频率以上，电阻由于高频趋肤效应而有一定的增大；Q值在 膜电感的应用，我们制各了薄膜变压器，通过简单的测量可知虽然耦合系数和效 率不是很高，但它还是具有较好的发展前景。 关键词薄膜电感j掩欺栅极型i磁控溅射j品质因数 研究生姓名：邵新勋 导师姓名：狄国庆 薄膜电感的制各研究 摘要 onthe ofthinfilm Study preparation inductors Abstraet We triedto the air—coremeanderthin film Io prepare type inductorsincreasethe that cap_beused．We with frequency them masksand prepared bymagnetron the materialwe inductance sputtering．Without magnetic gotlarge byproperly thesize ofthesize doesnotinfluence choosing parameter，Thechange parameter the thatcanbe we can the factorinthesametime． frequency used，SO improve quality Other morewemadeseries inductorstoincreasetheinductancein thesamearea．The inductancethem of are increased 2with greatly．Wepreparedsample