电磁流变协同效应微磨头加工机理的研究.pdf

摘要 摘要 随着微机电系统的应用和进一步发展，微尺寸零件的需求迅速增加，硬脆材料微结 构的精细加工要求越来越高，微细加工技术是硬脆材料微结构微细加工的关键。作为一 种智能材料，电磁流变液综合了电流变液和磁流变液的优点，在电场和磁场同时作用时， 能够产生“协同效应”，造成屈服应力高于单独电场和磁场作用下的屈服应力甚至其总 和。本文基于电流变抛光和磁流变抛光原理，提出了电磁流变协同效应微磨头加工方法， 研制了相应的试验加工装置，采用定点加工方法试验研究了工艺参数的影响，建立了微 磨头中固相粒子(包括分散粒子和磨粒)的受力模型和材料去除模型，深入研究了电磁流 变协同效应微磨头加工的电磁耦合协同作用机理。 基于电磁流变协同效应的微磨头加工方法，是将磨料混入电磁流变液形成抛光液， 以导电和导磁材料制作锥形工具，在锥形工具和工件之间形成高压电场和磁场，在电磁 耦合场作用下锥形工具端部形成电磁流变效应微磨头，利用电磁流变液的“协同效应” 来控制电磁流变效应微磨头的性能，实现硬脆材料的高效抛光和微量去除。 针对绝缘性较差的水基电流变液无法形成稳定电流变效应的问题，深入分析了电流 变效应的形成机理，提出了隔离电极的