大电流场发射三极管的研究.pdfVIP

摘要 摘要 场致发射冷阴极器件因其具有功耗低、电流密度大、无需加热、瞬时开启等优点，近年 来受到了人们的密切关注。它们在平板显示、大功率高速微波器件、X射线管等领域有着广 泛的应用前景。 本文主要针对大电流场发射三极管展开具体研究，包括大电流冷阴极以及三极管的制备 与测试两部分。利用传统的丝网印刷工艺，完成了大电流冷阴极的制备，并在真空室环境下 对其进行了场发射性能测试。研究了样品在不同衬底材料以及阴阳极间距下的场发射性能， 并对高性能混合阴极发射材料展开了初步研究。提出了一种荫罩型常栅极结构的场发射三极 管，与丝网印刷型大电流冷阴极相结合，完成了其制备工作，并进行了SEM结构表征。 对传统的连续直流测试法加以了改进，直流电压转换成脉冲电压有效的解决了直流测试 方法中阳极承受功率过大而导致温度过高的问题，使其能够适用于大电流场发射性能的测试。 为验证测试方法的可行性，对完成封装的二极结构器件进行了测试，测得最大发射电流为 用率较低的问题，对栅网的结构作了初步优化计算，得到网板厚度以及网孔孔径的变化将对 阴极表面附近的场强分布产生影响，进而影响到器件的电子利用效率等因素。 关键词：