光学粒子计数器粒径分辨率的算法及影响因素分析研究.pdfVIP

硕士论文 光学粒子计数器粒径分辨率的算法及影响因素研究 随着洁净室、洁净环境的应用加深，作为洁净室测量工具的粒子计数器受到越来越多的关 注，为了得到准确可信的环境洁净度的观测结果，尘埃粒子计数器等空气悬浮颗粒监测设备 必须达到国际标准的要求。由于起步较晚，国产粒子计数器的评价体系还不够完善，本文将 基于现行的各种粒子计数器标准，给出粒子计数器粒径分辨率的计算方法；计算国产光学粒 子计数器粒径分辨率指标，并对仪器分辨能力的影响因素进行研究；鉴于对数正态分布在气 溶胶科学中的应用，通过类比方式讨论了对数正态模型下的粒径分辨率计算方法。 实验方面。基于双参数脉冲描述模型对标准粒子光散射信号进行了实验测量，给出国产 光学粒子计数器在各个标准粒径下的脉冲信号概率密度分布图，利用“半数法”得到实验标定 曲线，并与由MiePlot得到的理论标定曲线比较。由采集的标准粒子信号分布，计算了国内 以及美国lighthouse生产的光学粒子计数器粒径分辨率，实验分析了大角度散射光收集系统 在分辨能力上的优势，光敏区设置在不同光路位置对信号的影响，比较了非线性电路和线性 电路的粒径分辨率。 文章给出一种粒径分辨率的算法，通过计算验证了国产光学粒子计数器对O．5微米粒径 档的粒径分辨率已能满足ISO21501中不超过15％的要求；分析了粒子性质、光学结构、电 路系统对国产光学粒子计数器粒径分辨率的影响，为进一步提高仪器性能提供了依据；验证 了对数正态分布模型下粒子计数器的粒径分辨率的计算方法以及进一步研究的价值；通过计 算给出了我国计量技术规范JJF．1190中粒径分布误差与ISO 21501中粒径分辨率的关系，方 便国产光学粒子计数器采用国际标准要求校准。 21501 关键词：粒径分辨率，光学粒子计数器，对数正态分布，ISO Abstract 硕士论文 Abstract Withthe ofclean Particle acleanroom applicationrooms，OpticalCounters(OPC)，as measurementmoreandmoreattentions．Inordertoevaluate tool，get thecleanroom and other mustmeetintemational onthe monitoring standards．Basedvariouscurrent equipment of standards amethodtocalculatethe of OPC，the resolution the paperpresents OPCs；Calculated sizeresolutionofthe domesticOPCand whatmakestheresolution the analyzed change．Given distribution inaerosol lognormal applications science，theresolutioncalculationmethodsin modelisdiscussed． lognormal to