转动竖直微镜的硅微机械光开关的研究.pdfVIP

摘要 转动竖直微镜的硅微机械光开关研究 杨艺榕(微电子学与固体电子拳) 指导老师：王跃林 摘要 本论文提出一种lx2扭转竖直微镜光开关，微镜采用(110)硅腐蚀制备而成， 执行器采用变间隙的电容驱动器，光耦含采用球透镜进行，并制作lx2光开关器件。 直接光纤耦合的微机械光开关损耗较大，但光束准直后再耦合可以降低损耗。本 文采用球透镜光纤进行光耦合，仔细分析了影响耦合效率的各种因素，高反射率薄膜 是微镜的一个组成部分，对金属薄膜的反射特性进行了计算，金和铝是很好的反射膜 镀层，饱和反射率达到97％，膜厚200rim。在入射角不大的情况下，偏振相关的反 射率相差很小。 角度偏转是光操作的一种方式，在光开关和光衰减器有广泛的应用，针对固定间 隙的电容，把固定电极做成曲线形状，有效低降低悬臂梁的吸合电压。对执行器的静 电压响应和频率特性进行了模拟计算，在此基础上制作的执行器驱动竖直微镜对光信 号进行偏转。在器件的光学耦合部分设计的固定弹簧有助于光纤的固定。 以(1lO)硅为衬底，用湿法腐蚀技术制作的表面平整光洁的竖直镜面，是光器 件的关键之一，采用深反应离子刻蚀技术制作的执行器，对微镜进行小角度偏转从而 控制光信号的切换，测得的执行器吸舍电压为69V和73V，与模拟的结果较为吻合。 研制的光开关样品测出损耗为4～5dB，隔离度为45dB。测试结果表明，光开关 器件能够实现光切换的功能。 本论文的工作作为“光通信用微光机电关键技术”的一部分成果获褥了“2003 年上海市科学技术进步二等奖”。 关键词：微机械，光玎关，竖直微镜，球透镜 中盈辩学院上海微系统与信息技术研究所硕士学住论丈 ABSTRACT onMEMS caI Study Opti SwitchBasedorl VerticaI r TorSionaIMicromirOF andSolidState Electronics) YangYirong(Microelectronics Directed Yuelin by：Wang Abstract Inthisthesis．anovellx2 switchwas iSbasedonavertical optical proposed．which wasfabricated siliconwaferwet torsionalmicromirror．Micromirror with(1lO)-oriented by a and was of cantilever actuator etchingtechnology．Microcomposed Variable—gap electrodes．The wascarriedout a ofballlensbetween addingpa