视网膜上假体多道双层柔性薄膜微电极阵列的设计与测试.pdfVIP

Thesis for Master of Shanghai Jiao Tong University DESIGN AND TEST OF MULTI-CHANNEL FLEXIBLE MICROELECTRODE ARRAY WITH DUAL-LAYER METALLIZATION FOR EPIRETINAL PROSTHESIS Candidate: Tianao Li Advisor: Professor Xinyu Chai Major: Biomedical Engineering Shanghai Jiao Tong University June 2010 视网膜上假体多通道双层柔性薄膜微电极阵列的 设计与测试 摘 要 视网膜上假体可以分为外部装置和内部装置，其中内部装置包括 了神经接口模块，即刺激视网膜神经细胞的微电极阵列。作为电子器 件与视网膜上的神经组织的接口界面，微电极阵列是整个视网膜上假 体系统中相当关键的部分，对视觉感知的有效性和准确性起到了关键 作用。近年来，随着微机电系统（MEMS ）工艺的迅猛发展，柔性薄 膜微电极的研究突破了许多瓶颈，刺激电极的性能和植入的安全性都 有了很大的提高。本文对视网膜上假体的柔性薄膜微电极阵列进行研 究，基于 MEMS 双层工艺设计了多通道的双金属层薄膜电极，并且 通过电化学实验评估了电极的性能。 本文的主要研究内容包括： 一、分析了国际上视觉假体的研究小组所采用的不同类型的微电 极，基于我们的研究小组的课题需要，设计并制作了用于视网膜上修 复的 64 通道的双层柔性薄膜微电极，给出了详细的设计依据和参数， 通过 MEMS 技术制作了基于铂材料的电极，并进行了引线焊接和封 装。根据制作和初步测试的反馈，提出了基于金材料的薄膜电极的优 化设计。 二、研究了三电极法的测试原理，针对传统的手动测试方法的不 I 足，提出了一种电极的阻抗自动测试系统，介绍了系统各个部分的功 能，具体设计和制作了电极连接装置，有效提高了测试效率和安全性。 三、研究了电极- 电解液界面的电化学理论基础，并讨论了等效 电路模型，作为电极测试的理论基础。搭建电极测试的仿生环境，对 封装完毕薄膜电极的阻抗和相位等电化学性能进行了分析和讨论。 四、总结了设计和制作视网膜上多通道柔性薄膜电极的关键问 题，并提出了研究展望和面临的挑战。 关键词：视网膜上假体，微电极阵列，MEMS 双层工艺，阻抗自动 测试系统，电化学性能 II DESIGN AND TEST OF MULTI-CHANNEL FLEXIBLE MICROELECTRODE ARRAY WITH DUAL-LAYER METALLIZATION FOR EPIRETINAL PROSTHESIS ABSTRACT Epiretinal prosthesis consists of external device and internal one, which includes neural-interface module, the microelectrode array (MEA) to stimulate retinal nerve cells. Since the implanted MEA is the direct interface between the external electronic circuit system and the n