双腔体压电泵的设计.pdfVIP

第 17卷 第 5期 光学 精密工程 VoI．17 NO．5 2009年 5月 OpticsandPrecisionEngineering M ay2009 文章编号 1004—924X(2009)05—1078—08 双腔体压 电泵的设计 彭太江 ，杨志团0，程光明。，阚君武 ，曾 平。 (1．深圳大学机电与控制工程学院，深圳518060；2．吉林大学链传动研究所，吉林长春130025； 3．吉林大学机械科学与工程学院，吉林 长春 130025) 摘要：由于 自吸性差 、对气泡敏感等原因，单腔体压 电泵在应用中受到限制，而多腔体结构是提高压 电泵性能的有效途 径 。通过分析腔体容积与压力变化过程得 出：双腔体 串联压电泵只能采用串联驱动方式而不能采用并联驱动方式，双腔 体并联压电泵 只能采用并联驱动方式而不能采用 串联驱动方式。制作双腔 串联 、并联压 电泵样机并进行测试可以得 出： 串联压电泵在驱