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等离子体处理工对zno基薄膜和纳米结构的肖特基接触及薄膜晶体管性能的影响研究
铿嬲型
目录
摘要……………………………………………………………………………………I
1．1引言……………………………………………………………………………………………………1
1．2．1
ZnO的晶体结构及性质……………………………………………．．2
1．2．2
ZnO掺杂……………………………………………………………．．4
1．3ZnO肖特基接触概述………………………………………………………．6
1．3．2
ZnO肖特基接触金属的选择………………………………………．．7
1．4ZnO薄膜晶体管……………………………………………………………10
1．4．1薄膜晶体管的基本结构及主要性能参数…………………………．10
1．4．2
ZnO薄膜晶体管技术的发展………………………………………13
1．4．3掺杂ZnO薄膜晶体管技术的发展………………………………．．16
2．1．2纳米棒的生长方法．水热法………………………………………．．21
2．2．1
ZnO薄膜材料特性表征……………………………………………23
2．2．2
ZnO纳米棒材料特性表征…………………………………………25
2．2．3
MIZO薄膜材料特性表征…………………………………………．28
第三章02／Ar等离子体处理对ZnO薄膜结构及光学性能影响研究……………32
3．102等离子体处理对ZnO薄膜特性影响…………………………………．32
3．2心等离子体处理对ZnO薄膜特性影响…………………………………．35
3．3本章小结……………………………………………………………………38
第四章02／Ar等离子体处理对ZnO纳米棒光学及肖特基接触特性影响研究…39
4．1等离子体处理对ZnO纳米棒光学特性研究……………………………．．39
4．1．1
02等离子体处理对ZnO纳米棒特性影响………………………．．39
4．1．2心等离子体处理对ZnO纳米棒特性影响………………………．．44
4．2等离子体处理对ZnO纳米棒肖特基接触特性影响……………………．48
4．2．1
ZnO纳米棒肖特基接触文献综述…………………………………48
4．2．2心等离子体处理对ZnO纳米棒肖特基接触性能影响…………．．49
第五章02／Ar等离子体处理对MIZO肖特基接触及薄膜晶体管特性影响研究．52
5．102等离子体处理对MIZO薄膜特性研究………………………………．．52
5．1．2
02等离子体处理对MIZO薄膜结构性能影响……………………53
5．2MIZO／Pt肖特基接触的特性研究…………………………………………55
万方数据
5．2．1
MIZO／Pt肖特基接触的制备………………………………………．55
5．2．2不同退火时间对MIZO／Pt肖特基接触特性影响…………………56
5．2．3
02等离子体处理对MIZO／Pt肖特基接触特性影响………………57
5．3等离子体处理对MIZO薄膜晶体管器件性能影响………………………58
5．3．1薄膜晶体管制备……………………………………………………．58
5．3．2不同02等离子体处理时间对MIZO．TFT性能影响……………．．60
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