电沉积镍薄膜早期形核生长的计算机模拟.pdfVIP

第 29卷第 2期 南华大学学报 (自然科学版) Voi：29No．2 2015年 6月 JournalofUniversityofSouthChina(ScienceandTechnology) Jun．2015 文章编号 ：1673—0062(2015)O2—0091—06 电沉积镍薄膜早期形核生长的计算机模拟 黄跃宇 (南华大学 数理学院，湖南 衡阳421001) 摘 要：介绍了动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜生长的基本理论，对电沉积镍薄膜早期 形核生长进行了模拟，发现镍薄膜的亚单层生长可以分为四个阶段，随着基底温度的 上升，岛的密度减少，岛的尺寸增大，岛的分形维数增大；随着沉积率的上升，岛的密 度上升，岛的尺寸减小，岛的分形维数减小；随着覆盖率的增加，岛的尺寸增大，分形 维数不变． 关键词：电沉积镍薄膜；动力学蒙特卡罗；岛密度；岛尺寸；分形维数 中图分类号：TB383 文献标识码 ：A TheComputerSimulation ofEarlyNucleationand GrowthofElectr0dep0sitedNiThinFilms HUANG Yue-yu (SchoolofMathematicsandPhysics，UniversityofSouthChina，Hengyang，Hunan421001，China) Abstract：Thepaperintroducesthetheorythatsimulatesthinfilm growthwith thekinetic MonteCarlomethod．Thesimulationsofsubmonolayerrgowth ofelectrodepositedNithin filmswithKMCmethoddiscoverthattherearefourrgowthrules．Firstly，thegrowthofsub— monolayercanbecarriedoutinfourstagesaccordingtoislanddistribution．Secondly，when substurcturetemperatureincreases，the island densitydecreases，theisland sizeincreases andthefractaldimensionenlarges．Thirdly，whendepositionrateraises，theislanddensity increases，theislandsizedecreasesandthefractaldimensionreduces．Fourthly，whenCOV— erageincreases，theislandsizeincreasesandthefractaldimensionisconstant。 keywords：electrodepositedNithinfilm；thekineticMonteCarlo；islanddensity；island size；fractaldimension 收稿 日期 ：2014—10—10 基金项 目：衡阳科技局基金资助项 目(2012KJ23)；南华大学博士基金资助项 目(2011XQD25) 作者简介：黄跃宇(1974一)，男，湖南娄底人 ，南华大学数理学院讲师，博士．主要研究方向：材料计算 南华大学学报 (自然科学版) 2015年6月 程只包含有两个最基本的过程 ：原子的沉积和原 0 引 言