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《光电检测技术》 光电检测技术的应用 赵斌 机械学院 仪器系 光电检测的分类 对象 光强 位置/成像 时间/频率/ 干涉/衍射 相位 方法 几何量 力学/运动量 物理量 （浓度、温 度… 光电检测的应用——光强度法几何量测量 将几何量的变化通过元件的移动或转动变化为光强度的变化 (a)移动变光 (b)转动变光 应用：光电纠偏传感器 检出方式 透过挡光型 电源 +12V DC ±10 ﹪ 纹波10﹪以下 功耗 ≤70mW 输出 两路数字输出 使用温度 0~50℃ 检测速度 ≤0.001s 对射式叉型红外光电传感器：开挡距离 20mm ，不灵敏区0.5mm （2 条光轴 之横向距离），灵敏度可以调节，用于单 边控制，信号回差 0.2mm ，功耗 1VA 。 控制精度较高，可用于透明膜。 应用：原子力显微镜 光强度法的要求：光束横截面光强度分布均匀 光强度法的灵敏度：(移动量/光束横截面尺寸)×满量程值 应用：光栅——挡板的阵列 因此，减小光束横 截面尺寸对提高线 性与灵敏度都是有 利的 列 阵 管 极 二 电 光 光栅移动 应用：光线入射方位传感器 光电池i i 窗口 旋转台θ θ 百叶光闸 入射光 应用：差动式挡光传感器——四象限光电池 更高的位移检测灵敏度— —激光准直仪 发射器是一款高稳定性的光纤 耦合半导体激光器，接收器是 二维高灵敏度激光位置传感 器，在显示出工件精确z