现代表面技术气相沉积技术物理气相沉积解读.pptVIP

用TiN，TiC等超硬镀层涂覆刀具、模具等表面，摩 擦系数小，化学稳定性好，具有优良的耐热、耐 磨、抗氧化、耐冲击等性能，既可以提高刀具、模 具等的工作特性，又可以提高使用寿命，一般可使 刀具寿命提高3～10倍。 TiN，TiC，Al2O3等膜层化学性能稳定，在许多 介质中具有良好的耐蚀性，可作基体材料保护膜。 5.1 物理气相沉积 5.1.3 离子镀膜 一、离子镀的原理 离子镀是在真空条件下，借助于一种惰性气体的辉光放电使气体或被蒸发物质部分离化，气体或被蒸发物质离子经电场加速后对带负电荷的基体轰击的同时把蒸发物或其反应物沉积在基体上。 离子镀的技术基础是真空蒸镀，其过程包括镀膜材料的受热，蒸发，离子化和电场加速沉积的过程。 ★ 过程 ① 预抽真空 10-3 Pa（高本底真空度） ② 充Ar气 10-1～10-3 Pa（低压惰性气体高压放电） ③ 溅射清洗 ④ 离子镀膜（镀膜材料蒸发、离化、加速、沉积） 二、离子镀的特点 （1）离子镀可在较低温度下进行。 化学气相沉积一般均需在900℃以上进行，所以处 理后要考虑晶粒细化和变形问题，而离子镀可在 900℃下进行，可作为成品件的最终处理工序。 （2）膜层的附着力强。 如在不锈钢上镀制20～50μｍ厚的银膜，可达到 300N/mm2粘附强度。 主要原因一： 离子轰击时基片产生溅