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第三章 变磁阻式传感器 学习目标 掌握三种变磁阻式传感器(电感式传感器、差分变压器式传感器、电涡流式传感器)的基本结构和工作 原理,了解上述传感器将非电量信号转换成电信号的过程,了解三种变磁阻式传感器各自特点、应用范围和 应用情况。 变磁阻式传感器是一种机电转换装置,它可以对直线位移和角位移进行直接测量,在自动控 制系统中应用十分广泛,是非电量测量的重要传感器之一。 变磁阻式传感器是利用线圈电感或互感的改变来实现非电量电测的。它可以把输入的各种 机械物理量如位移、振动、压力、应变、流量、相对密度等参数转换成电能量输出,因此能满足信息 的远距离传输、记录、显示和控制等方面的要求。 变磁阻式传感器与其他传感器相比较有如下几个特点: ① 结构简单,工作中没有活动电接触点,因而工作可靠,寿命长。 ② 灵敏度高,分辨率大,能测出0 01 μm 甚至更小的机械位移变化,能感受小至0 1 rad/ s 微小角度变化。传感器的输出信号强,电压灵敏度可达数百mV/ mm,测量范围宽,重复性好,线 性度优良并且比较稳定,高精度的变磁阻式传感器,非线性误差仅0 1% 。 变磁阻式传感器的主要缺点是频率响应差,存在交流零位信号,不宜用于高频动态测量等。 第一节 自感式传感器 电感式传感器是利用被测量的变化引起线圈自感或互感系数的变化,从而导致线圈电感量 改变这一物理现象来实现信号测量的。根据其转换原理,电感式传感器可分为自感式和互感式 两大类。 一、自感式电感传感器的工作原理 自感式电感传感器可分为变间隙型、变面积型和螺管型三种类型。 (一)变间隙型电感传感器 变间隙型自感式电感传感器的结构如图3 - 1 所示。它由线圈、铁心和衔铁三部分组成。铁 心和衔铁由导磁材料如硅钢片或坡莫合金制成,在铁心和衔铁之间有气隙,气隙厚度为 δ,工作 时衔铁与被测物体连接,被测物体的位移带动衔铁的上、下(或左、右)移动。当衔铁移动时,气 第一节 自感式传感器 29 隙厚度δ 发生改变,引起磁路中磁阻变化,从而导致电感线圈的电感值变化。因此只要测出这种 电感量的变化,就能确定衔铁位移量的大小和方向。 2 线圈的电感量可用公式L = N / R 计算。式中,N 为线 m 圈匝数;R 为磁路总磁阻。对于变间隙型电感式传感器, m 如果忽略磁路铁损,则磁路总磁阻为 l1 l2 2δ R = + + (3 - 1) m μ A μ A μ A 1 1 2 2 0 0 式中 l1 ——— 磁通通过铁心的长度; l ——— 磁通通过衔铁的长度; 2 A ——— 铁心的截面积; 1 A ——— 衔铁的截面积; 2 A ——— 气隙的截面积; 0 μ ——— 铁心磁导率; 图3 - 1 变间隙型自感式传感器 1 μ ——— 衔铁磁导率; 2 μ ——— 空气磁导率; 0 δ———气隙长度。 一般情况下,导磁