多晶Si太阳电池表面酸腐蚀制绒研究.pdfVIP

显微 、测量 、微细加工技术与设备 　Micro scop e , Mea surement , Microf abrication Equip ment 多晶 Si 太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究 肖文明 , 檀柏梅 , 刘玉岭 , 牛新环 , 边 　征 (河北工业大学 微电子研究所 , 天津 　300 130) 摘要 : 研究了采用 H F 和 HN O3 非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理 。通过实验分析了酸混 合液的体积浓度配比、添加剂 、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响; 总结出 ( ( ) ( ) 了多晶 Si 的酸腐蚀规律 , 得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比 V H F ︰V HN O3 ︰ V ( C H3 COO H) = 1 ∶12 ∶6) 。在此基础上提出了优化设计方案 : 采用廉价的水代替醋酸作为缓 蚀剂 , 腐蚀过程置于超声槽中进行 , 利用超声波的振动使反应生成的气泡快速脱离多晶 Si 片表 面 , 同时使腐蚀液浓度分布更加均匀 , 从而制备出效果更佳的多晶 Si 绒面 。 关键词 : 多晶硅太阳电池 ; 酸腐蚀 ; 表面形貌 ; 腐蚀速率 ; 多晶硅片制绒 中图分类号 : TM9 14 . 4 ; TN305 . 2 　文献标识码 : A 　文章编号 : 167 1- 4776 (2009) 10- 0627- 05 Research on Texturing of Multicrystall ine Sil icon Solar Cell s with Acid Etch Xiao Wenming , Tan Baimei , Liu Yuling , Niu Xinhuan , Bian Zheng ( ) I ns ti t ute of M ic roelect ronics , H ebei Uni ve rs i ty of Technology , Ti anj i n 300 130 , Chi na Abstract : The ba sic p rincip le s of multicry st alline i sot ropic et ch to get t ext ured surf ace u sing t he co mpo und of hydrofluoric acid and nit ric acid were st udied . The influence factor s of McSi et ch rat e and t ext ured surf ace condition s were analyzed t hrough exp eriment , such a s mixt ure ratio