100nm步进描光刻机高精度温度测量技术研究.pdfVIP

摘要 摘要 温度是一个基本的物理量，它是工业生产过程中最普遍、最重要的参数之一。 特别是在光刻机工作环境下，温度稳定是保障整机系统精度的关键条件。而高精度 的温度测量是控制温度稳定的前提。本课题受上海微电子装备有限公司委托，设计 高精度温度测量系统，用于lOOnm步进扫描光刻机的内部及外部环境温度的测量和 控制。 本文介绍的高精度温度测量系统是高精度测温仪和温度检测元件——热敏电 阻器相结合的温度测量系统。文章中分析了影响测量精度的主要误差因素，并提出 了相应的解决方法。高精度测温仪采用抗干扰、性能稳定的电予元件；采用恒流源 比较法测量热敏电阻温度传感器在不同温度下的阻值，避免了恒流源不稳定、电压 偏移等影响。选用高精度的热敏电阻器并对热敏电阻进行了实验室标定：选用合理 的数学模型、科学的数值处理方法等。实际测量表明，使用恰当的热敏电阻器可以 在较窄的范围内(0。C一60。C)达到很高的精度。 另外，为了实现从中央控制台对测温过程进行远距离操作、控制以及数据采集 等功能，本课题组为上级计算机进行了控制测温仪表的软件编程，最终实现了上级 计算机亦即控制光刻机整体动作的计算机和高精度测温仪之间的通信。只要在上级 计算机运行相应的软件，即可通过串口通讯，完成设置高精度测温仪各种参数、启 动各种测量模式、获取测量数据等操作。同时，程序还有数据显示和存储等功能。 最后，关于进一步工作的方向进行了简要的讨论。 关键词：高精度温度测量，光亥0机，热敏电阻器，数学模型，数值处理 Abstract ABSTRACT abasic one the of mostuniversaland Temperature，asphysicalquantity，is technical under conditionsof important parameters．Especiallyworking lithography of to stabilizationof isonethe thewhole key temperature qualificationsguarantee resolution．And measurementisthe to system high precisetemperature precondition controlthestabilizationof task，commissioned temperature．This byShanghai Electronics to a for Lid．，is design Equipment systemhigh precise temperature measurement．Thiswillbeusedtomeasureandcontrolthe system