无阀微泵多物理场耦合分析及实验研究.pdfVIP

30 卷 11 期 Vol.30 No.11 工 程 力 学 2013 年 11 月 Nov. 2013 ENGINEERING MECHANICS 233 文章编号：1000-4750(2013)11-0233-06 无阀微泵多物理场耦合分析及实验研究 1 1 1 2 关炎芳 ，韩莉莉 ，刘春波 ，俞正寅 (1. 河南工业大学机电工程学院，郑州 450007 ；2. 中科院上海微系统与信息技术研究所，上海200050) 摘 要：为了模拟微泵实际工作过程，需要找出微泵运动的控制方程。该文从压电振子作用力F 及液体反作用力 P 入手，给出微泵压电-应力-流体多物理场耦合的控制方程组，根据控制方程模拟微泵实际工作过程。通过对压 电振子耦合前后变形量进行对比发现，由于液体的反作用力阻碍压电振子运动，耦合后z 方向位移比耦合前小； 且频率越大，压电振子位移越大，其临界值为1000Hz；大于1000Hz 压电振子位移将出现畸变，微泵运行不稳定， 频率越大畸变越严重。微泵进出口处瞬时流量均随频率和电压的增加而增大，而锯齿型流道微泵瞬时流量大于同 等条件 的锥型流道微泵。该文最后采用微系统加工方法及聚二甲基硅氧烷(PDMS)不可逆封装技术制作出两种 微泵结构，并对两种微泵进行性能测试，结果证明微泵的最佳工作频率为100Hz~800Hz，在此频率范围内压力和 流量均处于最大值，与数值分析结果相吻合。为了验证微泵自吸能力，对锯齿型流道微泵进出口存在压差情况进 行测试，得出微泵流量最大为40 l/min，最大压力头为1.25kPa。 关键词：微泵；多场耦合；数值分析；变形量；性能 中图分类号：TH302 文献标志码：A doi: 10.6052/j.issn.1000-4750.2012.07.0527 MULTI-PHYSICS COUPLING ANALYSIS AND EXPERIMENT OF THE VALVE-LESS MICROPUMP 1 1 1 2 GUAN Yan-fang , HAN Li-li , LIU Chun-bo , YU Zheng-yin (1. College of Mechanical Engineering, Henan University of Technology, Zhengzhou 450007, China; 2. Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Shanghai 200050, China) Abstract: For simulating the factual working process. The PZT-Membrane-Fluid multi-physics coupling governing equations of the micropump have been established, based on the piezoelectric transducer force F and the liquid counterforce P. Thusly, the actual working process can be simulated with the governing equations. The z direction displacement of the piezoelectric transducer after coupling