第一章 薄膜及其特性课件.ppt

第一章 薄膜及其特性 1.1 薄膜的概念 （1）薄膜的定义 薄膜（thin film）是附着于基体上而与基体在组分或结构上存在差异的物质，是不同于其它物态（气态、液态、固体和等离子态）的一种新的凝聚态。顾名思义，薄膜就是薄层材料。 薄膜材料是相对于体材料而言的，绝不是将块体材料压薄而成的，而是通过特殊方法（如物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD）制备的。人们常常是用厚度对薄膜加以描述，通常是把膜层无基片（substrate free）而能独立成形的厚度作为薄膜厚度的一个大致的标准，规定其厚度约在1mm左右。 这一厚度也是采用常规方法所制薄膜膜厚的上限。随着科技工作的不断发展和深入，薄膜领域也在不断扩展，不同的应用领域对薄膜的厚度有不同要求。所以有时把厚度为几十微米的膜层也称为薄膜。通常是几个纳米到几十个微米，这也就是薄膜物理所研究的范围。 它可以理解为气体薄膜，如吸附在固体表面的气体薄膜。也可以理解为液体薄膜，如附着在液体或固体表面的油膜。我们这里所指的薄膜是固体薄膜（solid thin films），即使是固体薄膜，也可以分为薄膜单体和附着在某种基体上的另一种材料的固体薄膜，这里所指的薄膜属后者。即附着于基体（又称衬底）上而与基体在组分或结构等方面存在着差异的薄层物质称为薄膜。 1 薄膜的几种定义 薄膜材料可用各种单质元素及无机化合物或有机化合物来制作膜，也可用固体、液体或气体物质来合成。薄膜与块状物体一样，可以是单晶薄膜、多晶薄膜、微晶薄膜、纳米晶薄膜、非晶薄膜、超晶格薄膜等。 （2）薄膜材料科学与技术的研究内容 （a）如何使某一物质（可以是块状、液态等物质）能成为薄膜形状？就是研究该材料的制备工艺（合成）技术； （b）研究该薄膜具有哪些新的特性（包括光、热、电、磁、力等方面），研究这些特性的物理本质； （c）如何把这些薄膜材料应用于各个领域，尤其是用于高新科技领域。 1.2 薄膜材料的分类 按薄膜的功能及其应用领域大致可分类如下： （1）电学薄膜 ①半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料Al、Cr、Pt、Au、多晶硅、硅化物、SiO2、Si3N4、Al2O3等的薄膜。 ②超导薄膜 特别是近年来国内外普遍重视的高温超导薄膜，例如YBaCuO系稀土元素氧化物超导薄膜以及BiSrCaCuO系和TlBaCuO系非稀土元素氧化物超导薄膜。 ③光电子器件中使用的功能薄膜 特别是近年来开发研究成功的GaAs/GaAlAs、HgTe/CdTe、a-Si:H、a-SiGe:H、a-SiC:H、a-SiN:H、a-Si/a-SiC等一系列晶态与非晶态超晶格薄膜。 ④薄膜敏感元件与固态传感器 例如SnO2薄膜可燃性气体传感器、ZrO2薄膜氧敏传感器、薄膜应变电阻与压力传感器、Pt、Ni等金属薄膜与Co－Mn－Ni等氧化物薄膜及SiC薄膜的热敏电阻和Si3N4、Ta2O5薄膜的离子敏传感器等。 ⑤薄膜电阻、薄膜电容、薄膜阻容网络与混合集成电路 ⑥薄膜太阳能电池 特别是非晶硅、CuInSe2和CdSe薄膜太阳能电池。 ⑦平板显示器件 液晶显示、等离子体显示和电致发光显示三大类平板显示器件所用的透明电极（氧化铟锡薄膜）。特别是薄膜电致发光屏是一种多层功能薄膜（包括氧化铟锡透明导电膜，Y2O3、Ta2O5等介质膜，ZnS：Mn等发光膜，Al电极膜等）组成的全固态平板显示器件。 ⑧用ZnO、 Ta2O5 、AlN等薄膜制成的声表面滤波器件。 ⑨磁记录薄膜与薄膜磁头 如用于高质量录音和录像的磁性材料薄膜录音带与录像带；用于计算机数据储存的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜软盘和硬盘；用于垂直磁记录中FeSiAl薄膜磁头等。 ⑩静电复印鼓用的Se-Te、SeTeAs合金膜及非晶硅薄膜。 （2）光学薄膜 ①减反射膜 例如照相机、幻灯机、投影仪、电影放映机、望远镜、瞄准镜以及各种光学仪器透镜和棱镜上所镀的单层MgF2薄膜和双层或多层（SiO2、ZrO2、Al2O3、TiO2等）薄膜组成的宽带减反射膜；野视仪和红外设备的镜头上所用的ZnS、CeO2、SiO、Y2O3等红外减反射膜。 ②反射膜 例如用于民用镜和太阳灶中抛物面太阳能接收器的镀铝膜；用于大型天文仪器和精密光学仪器中的镀膜反射镜；用于各类激光器的高反射率的膜（反射率可达99％以上）等等。 ③分光镜和滤光片 例如彩色扩印与放大设备中所用红、绿、蓝三原色滤光片上镀的多层膜。 ④照明光源中所用的反热镜与冷光镜薄膜。 ⑤建筑物、汽车等交通工具所用的镀膜玻璃 包括用于热带地区的太阳能控制膜（Cr、Ti、不锈钢、Ag等）和用于寒带地区的低辐射率薄膜（TiO2－Ag－TiO2、ITO膜等）。 ⑥激光唱片与光盘中的光存储薄膜，如Te81Ge15