再生纤维素基底上氟碳膜的形貌、结构和性能的研究.pdfVIP

摘 要 本文利用射频磁控溅射的方法，以纯度为99．99％的聚四氟乙烯(PTFE)为靶材， 在再生纤维素基底上沉积氟碳膜，对不同的溅射工艺条件如靶基距、溅射功率和溅射 压力进行了研究和探索。 利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了氟碳膜的表面形貌，并估算了 氟碳膜的沉积速率。从SEM照片上可以看出：随着靶基距、溅射功率和溅射压力的 增加，沉积在再生纤维素基底上的氟碳粒子逐渐变小、变密，形状从不规则变成较为 规则的近圆形，粒子间的孔隙逐渐变小，覆盖度增加。AFM的测试结果表明：沉积 膜是一种垂直于基底表面的圆锥形岛状结构，每个岛又由许多纳米粒子组成，是一种 较为复杂的团簇状二次结构。 用x．射线光电子能谱(xPs)研究了氟碳膜表面结构随靶基距、溅射功率和溅射压 力的变化规律，发现该法制备的氟碳膜F／C较低，严重偏离靶材PTFE的化学计量比， 说明氟碳膜中氟不足而产生不饱和双键和支化结构。所以氟碳膜可能对紫外光有一定 的吸收作用。对于氟碳膜，随着靶基距和溅射功率增加，F／C减小，而随着溅射压力 的增加， F／C增加。刮下再生纤维素基底上的氟碳膜粉末，用KBr压片法得到氟碳 膜的红外谱图，验证了部分XPS的分析结果。 紫外分光光度计的测试结果表明：氟碳膜的吸收峰只有一个，最大吸收峰在 300．330 nm之间，最大紫外吸光度随着靶基距、溅射功率和溅射压力的增加呈现逐渐 增大的趋势。这主要是由于靶基距、溅射功率和溅射压力的增大使得沉积的氟碳粒子 变小、变圆、数量增多，这些粒子对紫外光的散射作用增强所致。 静态接触角的测试表明：氟碳膜的静态水接触角都大于或非常接近于90。，是一 种疏水性能较好的膜。对于氟碳膜，随着靶基距和溅射功率的增加，接触角逐渐减小； 而随着溅射压力增加，接触角逐渐增大。 关键词：射频磁控溅射，表面形貌；沉积速率7表面结构；紫外吸收； 接触角 Abstract cellulosefilmsweremodifiedAr inthe ofa Regenerated by plasmaspresencemagnetic field．Weused the PTFE(99．99％)astarget．Various discharge and discussed． distances，sputteringpowersputteringpressure)are 111e offluorocarbonfilmsareobservedmeansof Electron morphology by Scanning AtomForce estimatedthe rate Microscopy(SEM)andMicroscopy(AFV0，anddeposition the of offluorocarbonfilm．From foundthatthefluorocarbon SEM，we photos grains onthe cellulosefilmssubstratestendedtobe finer,more depositedRegenerated uniformly andmo