培训系列之7(杨乃恒)：高真空与超高真空获得设备解读.ppt

《真空技术》 一. 真空技术发展概况 （杨乃恒） 二. 真空工程理论基础 （孙丽娜） 三. 真空系统设计 （刘坤） 四. 低真空获得设备 （张以忱） 五. 清洁真空获得技术 （巴德纯） 六. 中真空获得设备 （张以忱） 七. 高真空与超高真空获得设备 （杨乃恒） 八. 真空测量 （刘玉岱） 九. 真空检漏 （刘玉岱） 十. 真空镀膜（一）：PVD物理气相沉积 （张以忱） 十一. 真空镀膜（二）：CVD化学气相沉积 张世伟） 十二. 真空冷冻干燥技术 （徐成海） 十三. 真空设备的自动化控制 （王庆） 十四. 真空材料与真空卫生 （张以忱） １）概述 真空系统的工作压强是由气体的流入量和气体的抽除量达到动态平衡所决定的。即由公式： Q=SP所决定的。系统内气体流入量Q恒定时，系统的工作压强P决定于系统出口处的抽速S。压强降低一个量级，要求抽速相应增加一个量级。 泵的实际抽速小于理论抽速，并与入口压强有关。泵口在一个有限的工作压强范围内工作，超过此范围抽速减少到零。目前还没有一种泵能从大气压到超高真空的整个压强范围内工作。如工作在高真空区域内就称作高真空获得设备，或工作在超高真空区域的就称超高真空获得设备。由于工作压强范围不同就出现了各种不同的真空获得设备。 据文献报道：英国BOC Edwards公司的EPX干泵，德国pfeiffer公司的OnTool干泵，利用牵引分子泵及旋涡泵的工作原理组成多级的单体泵，可实现高真空到直排大气。抽速140 l/s，极限真空10-4Pa。 因此，通常选用适当的多泵串联的机组来对系统抽气。 普通型扩散泵与机械泵组成的机组可使系统压强降到10-5Pa，即达到高真空状态。改进型扩散泵与机械泵组成的机组，可使系统压强降低到10-8Pa，即超高真空状态。这说明一种泵有可能既是高真空获得设备，又是超高真空获得设备。现代的离子泵、升华泵、吸附泵和低温泵等，能使很大的被抽系统抽到超高真空状态，且可以满足不同气体种类的要求。 涡轮分子泵与机械泵的组合，既能获得高真空也能非常迅速地抽到10-8Pa的超高真空。 本节课介绍各种高真空泵和超高真空泵的性能和使用规则 2）高真空获得设备 （1）金属油扩散泵 高真空抽气系统通常至少包括一台扩散泵和一台机械泵。 机械真空泵从被抽容器中抽走99.99%空气（粗抽)。剩余的空气（压强降至10-1—10-7Pa）由扩散泵抽走排入机械泵中。 当要求泵对所有气体都有恒定的高抽速，并且长时间使用无需维护时，一般使用扩散泵。 扩散泵不能直接将气体排入大气中，要求机械泵先将真空系统中的压强降低到符合要求的压力区域，这一工作称为粗抽。在达到适当的工作压强条件后，扩散泵方可接着工作。此时，在前级管道上连接的机械泵为扩散泵维持适当的排气压强条件。这一工作被称为前级抽空。 扩散泵在本质上是专门用于高真空的蒸汽喷射泵。以前过分强调了气体向蒸汽流中扩散和蒸汽被冷凝。因此定名它为扩散泵（或冷凝泵）。 最初的扩散泵设计是在1915年。约在10年后确定了其基本结构形式。现代扩散泵的特点是蒸汽流是按抽气方向高速运动，被抽气体被蒸汽流带走。其原理与蒸汽喷射泵没有太大的差别。最初用的工作流体是汞。第一次用油类作为工作流体是在1928年。下面主要讨论油扩散泵及其附件。 （１）泵的抽气机理 典型的扩散泵有一个垂直的、通常是圆筒形的泵体，泵体上固定着一个入口法兰，以便了连接到系统上进行抽气。圆筒的底部是封闭的，形成一个锅炉，锅炉与加热器固定在一起。泵体上部的三分之二缠绕着冷却水管或水套。出口管道设置在泵体下部的一侧，以便将被抽气体或蒸汽排到前级机械泵。图1中的剖视图给出了单级扩散泵的示意结构。 喷射系统（导管系统）安置在泵体中。它由顶部盖帽的同轴圆管组成，并与张开的末端配合形成喷嘴，泵工作液蒸汽经过喷嘴可以高速按预定方向喷出。这里没有机械运动部件。 工作时，由固定在泵底下部的电炉元件加热，将锅炉中的工作液体变成蒸汽。蒸汽流在导流管中上升，通过环形喷嘴间隙向由水冷却的泵内壁喷射。 达到泵入口的气体分子为泵工作蒸汽流所携带，并获得向下的动量。蒸汽流通常以超音速流动。气体蒸汽混合物向前级管道方向运动。喷射流中的油蒸汽碰到水冷却泵壁后冷凝，以液体形式重新回到锅炉。而被携带的气体分子则继续流向出口，在泵出口处被机械泵抽走排到大气中。 冷凝的油蒸汽沿泵内壁流回锅炉，再加热后又被蒸发，以维持到喷嘴处的蒸汽流和抽气的连续性。图2是典型的多级扩散泵的剖视图。 扩散泵的抽气作用是由蒸汽与气体分子的碰撞，动量交换形成的。气体分子难于逆流方向上穿越蒸汽流，回到泵的入口处。由于蒸汽射流两侧出现了压强差（分子密度差），由蒸汽射流形成的压缩比可以近似地表示为下式．式中为蒸汽流密度，u为蒸汽流速度，L为蒸汽流的宽度，D为