现代光学测试技术教案分析.pptVIP

由上式可知，隧道电流强度对针尖与样品表面之间的距离非常敏感，如果距离 S 减小 0 . 1nm ，隧道电流 I 将增加一个数量级，因此，利用电子反馈线路控制隧道电流的恒定，并用压电陶瓷材料控制针尖在样品表面扫描，则探针在垂直于样品方向上高低的变化就反映出了样品表面的 起伏，图 11- 3 ( a ）。将 针尖在样品 表面扫描时 运动的轨迹 直接记录显 示出来，就 得到了样品 表面态密度的 分布或原子 排列的图像。 这种扫描方式可用于观察表面形貌起伏较大的样品，且可通过加在Z向驱动器上的电压值推算表面起伏高度的数值，这是一种常用的扫描模式。对于起伏不大的样品表面，可以控制针尖高度守恒扫描，通过记录隧道电流的变化亦可得到表面态密度的分布，见图 11-3 ( b ）。这种扫描方式的特点是扫描速度快，能够减小噪音和热漂移对信号的影响，但一般不能用于观察表面起伏大于 1.0nm 的样品。 从式（ 11-1 ）可知，在Vｂ和 I 保持不变的扫描过程中，如果功函数随样品表面的位置而异，也同样会引起探针与样品表面间距 S 的变化，因而也会引起控制针尖高度的电压 Vｚ的变化。如样品表面原子种类不同，或样品表面吸附有原子、分子时，由于不同种类的原子或分子团等具有不同的电子态密度的功函数，此时 STM 给出的等电子态密度轮廓不再对应于样品表面原子的起伏，而是表面原子起伏与不同原子和各自态密度组合后的综合效果。 一、 AFM 的工作原理 AFM 的工作原理示于图 11-6 。将一个对微弱力敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，试祥相对针尖运动，当针尖接近试样时，起初针尖得到一个很小微弱拉力，然后由针尖上最后一个原子和试样表面相对的那个原子之间的原子力而产生一个排斥力（ 10-8-10-6N ）。由于这个力使弹性微悬臂弯曲。这个弯曲运动由 STM 或用光学方法检测出来。像 STM 一样，令试样作X、 Y 向扫描，在扫描过程中，试样 Z 向的高度变化由压电陶瓷进行跟踪。控制上述这种排斥力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应针尖与样品表面原子之间作用力的等位面在垂直于样品的表面方向起伏运动，于是压电陶瓷 z 向位移即是试样表面起伏的量度，从而获得样品表面形貌的信息。 （四）信号波形的正弦性 莫尔条纹光场的亮度分布符合正弦规律，经由光电元件转换之后，如果接收狭缝比条纹宽度窄得多，则输出信号的瞬时波形也和莫尔条纹的亮度分布一样，非常接近于正弦波。由于亮度没有负值（极限为零），因此光电元件所取得的信号总 是叠加在一个平均信号 之上（平均信号反映了 平均亮度，即背景）。 所以，经光电元件转换 后，形成了带有平均电 压的交变信号，如图 4 – 6 所示。 （五）共模漂移 光栅的平均背景引起共模电压，但是，光栅全长上透光量并非处处一样，工作期间光源的亮度也难保持不变，这样，在光栅不同位置上，将有不同的平均背景，于是产生共模漂移。共模及共模漂移都影响光栅系统的工作性能。在信号曲线上，只有与Vcp相交的那些点（见图 4 - 6 中的 b 和 d 称过零点）灵敏度最高，稳定性最好，因此作为对准定位和触发脉冲等用途的工作点，幅度调制系统的细分也是以这些过零点作依据。如果共模电压相对地大，那么系统（指工作点）是不稳定的，如有共模漂移，即实际工作点就会偏离过零点，由此引起脉冲间隔的变化。容许的漂移值应由插补系数或定位精度确定。 （六）反差 光电信号的反差（即衬度），常用调制系数 K 0，调制度 M d或对比度 C来评价（见图 4 - 6 ) 二、光栅读数头组成 实际应用中，常根据读数头的结构特点和使用场合分为：分光读数头、直接接收式（或硅光电池式）读数头、镜像读数头以及反射光栅读数头等。就光学系统而言，不外乎夫琅和费系统和费涅尔衍射系统两类。 读数头由光源、准直透镜、指示光栅、光电元件和必要的光阑、接收狭缝及调整机构等部分组成。光源的灯丝应安置于准直透镜的焦点上。准直透镜也有一定的像差要求，灯丝必须细而直，照度要稳定，否则会因背景变化而引起直流漂移．造成计量误差。光电元件主要有硅光电池、光电二极管和光电三极管。光电管的空间位置应能调整，以便能对准所需要的光谱级和谱带，并准确地配置在透镜的后焦面上。还应放置必要的接收光阑，以便获得一定强度的信号和提高信号的信噪比 三、分光读数头 （一）单相型（图 4-7 ) 从光源 S 出发并经透镜 L ，准直的光束，以 α角入射到光栅副 G 1和 G2 ，从光栅副衍射的各级群光束的方向均由光栅方程确定： （二）多相型 　　　为了适应判别方向和补偿直流漂移的需要，通常要求二相或四相信号，它们之间在相位分别有π或π/2的相移。