扫描电镜教案分析.pptVIP

SEM主要生产厂家及性能 电子束与样品的相互作用 电子能谱 电子在铜中的透射、吸收和背散射系数的关系 样品本身要保持电平衡，这些电子信号必须满足以下关系： ip=ib+is+ia+it 式中：ip 是入射电子强度； ib 是背散射电子强度； is 是二次电子强度； ia 是吸收电子强度； it 是透射电子强度。 角度不同时电子束与样品的相互作用 二次电子成像 扫描电镜的构造 背散射电子成像 SE和BSE的成像比较 入射电子在样品中的扩散 原子序数不同时电子束与样品的相互作用-1 原子序数不同时电子束与样品的相互作用-2 加速电压不同时电子束与样品的相互作用-3 低电压和高电压的成像比较-2（SE） 低电压和高电压的成像比较-1（BSE） 应 用 一幅高质量的SEM图像应该满足三个条件: 一、是分辨率好,显微结构清晰可辨; 二、是衬度适中,图像中无论是黑区还是白区的 细节都能看清楚; 三、是信噪比好,没有明显的雪花状噪声。 其中分辨率是最重要的指标。 为了获得高质量的SEM图像应做的是： 1. Choose the correct kV 2. Choose the correct spot 3. Focus 4. Astigmatic (象散) 5. Charging or No Charging 像散对成像的影响 样品是否导电对成像的影响 束斑大小对成像的影响-1 束斑大小对成像的影响-2 形貌的观察和分析-1 形貌的观察和分析-2 形貌的观察和分析-3 失效分析－1 失效分析－2 disc of least confusion magnified point source Non-conductive silicon nitride Charging No charging SPOT 2 SPOT 5 原子序数衬度是对样品微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到显示微区化学成分差别的像衬度。 背散射电子、特征X射线、吸收电子等对化学成分、原子序数敏感，所以可用它们来显示原子序数或化学成分衬度。 当入射电子能量在0-40KeV，样品背散射系数η随原子序数增加而增加，对于Z40的元素，η随原子序数变化更明显，当Z=20时，原子序数Z增加1则η增加5%，由于背散射信号强度Ib正比于η，随原子序数Z增加而增加，样品表面平均原子序数Z较高区域，在背散射图象上显示亮衬度。可根据背散射电子像亮暗衬度来判断相应区域原子序数Z的相对高低。 背散射电子能量高，沿直线运动，进入检测器中之信号强度比二次电子弱得多，为降低形貌对背散射像的干扰，试样表面要尽可能光滑，原子序数衬度像的样品只需要抛光不腐蚀，收集栅加-50V阻止二次电子进入检测器，以降低形貌像的干扰。 从以上的SEM原理我们可以知道，它与TEM的主要区别： 1） 在SEM中电子束并不像TEM中一样是静态的：在扫描线圈产生的电磁场的作用下，细聚焦电子束在样品表面扫描。 2）由于不需要穿过样品，SEM的加速电压远比TEM低；在SEM中加速电压一般在200V 到50 kV范围内。 3） 样品不需要复杂的准备过程，制样非常简单。 扫描电镜由六个系统组成(1) 电子光学系统（镜筒）(2) 扫描系统(3) 信号收集系统(4) 图像显示和记录系统(5) 真空系统(6) 电源系统 (1)电子光学系统（镜筒） 由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束(直径一般为10nm或更小)来轰击样品，使样品产生各种物理信号。  (2) 扫描系统  扫描系统是扫描电镜的特殊部件，它由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：1) 使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描；2) 改变入射束在样品表面的扫描振幅，从而改变扫描像的放大倍数。 (3) 信号收集系统 扫描电镜应用的物理信号可分为：1) 电子信号，包括二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测，其他电子信号用电子收集器；2) 特征X射线信号，用X射线谱仪检测；3) 可见光讯号（阴极荧光），用可见光收集器。 常见的电子收集器是由闪烁体、光导管和光电倍增管组成的部件。其作用是将电子信号收集起来，然后成比例地转换成光信号，经放大后再转换成电信号输出(增益达106)，这种信号就用来作为扫描像的调制信号。 收集二次电子时，为了