第四讲：高能束加工解决方案.pptVIP

3.激光束加工 3.激光束加工 专题四:高能束加工 1.离子束加工 2.电子束加工 3.激光束加工 1.离子束加工 概念: 离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的一种加工方法. 特点: (1)精度高 聚焦光斑可达1μm,可逐个剥离原子; (2)污染少 在较高真空中进行,可加工易氧化的金属,合金及半导体材料; (3)变形小 加工应力小,表面质量好. 1.离子束加工 加工分为四类: (1)离子刻蚀; (2)溅射镀膜; (3)离子镀; (4)离子注入. 其中:(1) ﹑(2)和(3)是利用离子的溅射效应; (4)为基于注入效应. 1.离子束加工 图1 离子碰撞过程示意图 1.离子束加工 1.离子束加工 1.离子束加工 1.离子束加工 1.离子束加工 2.电子束加工 特点: (1)精度高 束斑极小,可聚焦到0.1μm实现亚微米级宽度; (2)加工范围广 微小束斑上达到10E7～10E9W/cm2,不产生宏观应力和切削变形; (3)生产率高 能量利用率达90%,打孔焊接效率高; (4)可控性好 加工过程便于实现自动化; (5)无污染 在真空中进行,加工表面不氧化; (6)设备昂贵 需要一套专用设备和真空系统. 图2-1 电子束加工 原理图 2.电子束加工 2.电子束加工 2.电子束加工 图5-12 电子束加工的喷丝头异形孔 2.电子束加工 图5-13 电子束焊接鼓轮 2.电子束加工 2.电子束加工 3.激光束加工 ★ 激光加工设备由激光器﹑导光聚焦系统和加工机(激光加工系统)等三部分组成. 加工特点: (1)精度较高; (2)效率高; (3)污染少; (4)加工材料范围广; (5)无”切削力”和”刀具磨损”等现象. 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工 激光加工技术应用: ★ 激光增材制造(快速原型制造技术); ★ ★ 激光表面强化技术; ★ ★ ★ 激光焊接; ★ ★ ★ ★ 激光切割; ★ ★ ★ ★ ★ 激光打孔; ★ ★ ★ ★ ★ ★ 激光微造型技术. 3.激光束加工 激光加工技术及应用研究: 林成富编译,刘献国审校激光热处理文集 ----哈尔滨工业大学出版社 1989年2月 主要内容(共61篇论文): (1)激光热处理的组织与性能的研究,40篇; (2)激光热处理工艺规范的选择与确定方法,8篇; (3)激光合金化与激光化学热处理的研究,10篇; (4)激光热处理的设备与装置,3篇. 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工 3.激光束加工