Rena_前后清洗工艺培训教材解析.pptVIP

3、更换酸槽药液 主界面依次点击stop→Mode Manual停机并将机器切换成手动操作模式 点击Manual进入手动换药界面(程序默认为刻蚀槽换药界面) 点击F11在出现的界面点击Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyors→Start开启滚轮。点击F4回到刻蚀槽换药界面。 点击F4切换至酸槽换药界面。 酸槽换药界面 点击Draining将药液排掉。 待Acidic Rinse图标显示Empty（黄色），点击Filling DI加水清洗。 待Acidic Rinse图标显示Full DI时，表示水已加满。这时设备进入自动循环状态，循环2min。清洗次数依实际情况而定（一般为2次）。 点击Draining将水排掉，待Acidic Rinse图标显示Empty，排水完毕。清洗结束。 点击Filling Chemie添加药液。若加药过程外围药液量不够报警，通知外围换药。待外围换药结束，确认无报警信息后点击PT Filling Chemie继续加药。 依次点击F11→Drivers进入滚轮控制界面，依次点击All conveyors→Stop关闭滚轮。 按F10返回主界面。 依次点击Mode Auto→Start开启机器。 Thanks for your attention! 去PSG原理方程式： SiO2+4HF=Si