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传感技术 第三章 位移传感器 第三章 位移传感器 位移是指物体相对参考点产生偏移，偏移量的大小就是位移。位移是一种基本物理量，由它派生出的物理量有长度、宽度、厚度、位置、磨损、应变及（振动）振幅等。因此只要测出位移量，由其派生出的物理量的测量问题就可以解决。 位移分为线位移和角位移两类。 3.1 数字量传感器 数字量传感器是把模拟输入量经敏感元件转换成数字量输出的传感器。数字量输出的传感器有较高的测量精度和分辨力，从数据处理和信号分析角度，数字量便于微机处理。位移传感器中的光栅、感应同步器和磁栅式传感器都是以“计数”方式工作的数字量传感器。 3.1 数字量传感器 3.1 数字量传感器 3.1.1 光栅传感器 1.光栅位移传感器的结构 光栅通常是由在表面上按一定间隔制成透光和不透光的条纹玻璃构成，称之为透射光栅，或在金属光洁的表面上按一定间隔制成全反射和漫反射的条纹，称为反射光栅。利用光栅的一些特点可进行线位移和角位移的测量。测量线位移的光栅为矩形并随被测长度增加而加长，称之为长光栅；而测量角位移的光栅为圆形，称之为圆光栅。 3.1.1 光栅传感器 2.光栅位移传感器的分类 3.莫尔条纹输出信号的质量评定 4.正弦微窗光栅位移传感器 4.正弦微窗光栅位移传感器 4.正弦微窗光栅位移传感器 4.正弦微窗光栅位移传感器 4.正弦微窗光栅位移传感器 4.正弦微窗光栅位移传感器 感应同步器的鉴相型处理方式 在该种工作方式中，滑尺正、余弦绕组通以频率相同、幅值相同，相位差为π /2的交流励磁电压。 正弦绕组励磁电压: us = Um sinωt 余弦绕组励磁电压: uc = －Um cosωt 定尺 绕组上的总感应电压为： uo = uos + uoc = K us cos? － K uc sin? = K Um sinωt cos? +K Um cosωt sin? = K Um sin（ωt +? ） 感应同步器的鉴相型处理方式 结论：在鉴相工作方式中, 通过测量感应电压uo与正弦绕组励磁电压us相位差? ，就可求得滑尺与定尺相对位移量 x 。 滑尺正、余弦绕组通以频率相同、相位相同，但幅值不同的交流励磁电压。 us =Um sin?1 sinωt uc =Um cos?1 sinωt 定尺 绕组上的总感应电压为： uo = uos + uoc = K us cos? － K uc sin? = K Um sin(?1－?)sinωt ? 1 = 2 x1 π /W （ x1是指令位移值） 感应同步器的鉴幅型处理方式 结论：在鉴幅工作方式中, 通过测量感应电压uo的幅值，就可求得滑尺与定尺相对位移量 x 。 感应同步器的鉴幅型处理方式 磁栅是用于线位移(长度)测量的一种数字式传感器。这是一种比较新的传感元件，加工工艺也比较简单。当需要时，可将原来的磁化信号抹去，重新录制。还可以安装在被测体上，再录制磁化信号，对消除安装误差和被测体本身的几何误差，以提高测量精度都是十分有利的。由于可以采用激光定位录磁，而不需要采用感光、腐蚀等工艺，因而可以得到较高的精度。 3.1.2 磁栅位移传感器 3.1.2 磁栅位移传感器 1—磁性膜 2—基体 3—磁尺 4—磁头 5—铁芯 6—励磁绕组 7—拾磁绕组 磁栅位移传感器分为测线位移的长磁栅和测角位移的圆磁栅。磁栅传感器由磁尺、磁头和检测电路组成，如图所示。磁尺是用不导磁的金属做尺基，或者采用在钢材表面上镀上一层抗磁材料，如0.15-0.20mm厚的铜做尺基。在尺基表面均匀地涂覆一层厚度为0.10-0.20mm的磁性薄膜，常用的是Ni-Co-P合金，然后录上一定波长的磁信号（等距离排列的小磁极） 。磁尺上的磁场强度是周期变化的。 3.1.2 磁栅位移传感器 读取磁信号时，按读取方式不同。有动态磁头和静态磁头之分。动态磁头又称速度响应式磁头，只有一组线圈，当磁头相对磁尺运动时，在线圈里产生感应电动势，有输出信号。动态磁头只有在磁头与磁尺问有相对运动时才有信号输出．运动速度不同时，输出信号的大小也不同，静止时就没有信号输出，故不适用于长度测量。静态磁头又称磁通响应式磁头。与动态磁头的根本区别在于，在磁头磁栅之间没有相对运动的情况下也有信号输出。 3.1.2 磁栅位移传感器 与感应同步器类似，磁栅位移传感器的信号处理方式也有两种工作方式：鉴相工作方式、鉴幅工作方式。 磁栅传感器通常是独立结构。磁尺在中小型机床