信号检测理论与技术-第三章精要.ppt

* 压阻式压力传感器的特点: (1)灵敏度高，频率响应高； (2)测量范围宽，可测低至10Pa的微压到高至60MPa的 高压； (3)精度高，工作可靠，其精度可达±0.2％～0.02％； (4)易于微小型化，目前国内生产出直径φ1.8～2mm的压阻式压力传感器。 * 4.压电式压力传感器 压电效应：某些电介质，沿某一个方向受力而发生机械变形时，其内部将发生极化现象，在其表面会产生电荷。当外力撤去后，又会重新回到不带电的状态。 常用的压电材料有压电晶体(如石英晶体)和压电陶瓷(如钛酸钡)两大类。 压电式压力传感器是利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号。 * 由压电材料制成的压电元件受到压力作用时，产生的电荷量与作用力之间呈线性关系。即 式中，Q为电荷量，k为压电常数，p为压力。 * 压电元件夹于两个弹性膜片之间，压电元件的一个侧面与膜片接触并接地，另一侧面通过引线将电荷量引出。 被测压力均匀作用在膜片上，使压电元件受力而产生电荷。 电荷量一般用电荷放大器或电压放大器放大。 图3-11压电式压力传感器 * 压电式压力传感器特点: (1)体积小，结构简单，工作可靠； (2)测量范围宽，可测100MPa以下的压力； (3)测量精度较高； (4)频率响应高，可达30KHz，是动态压力检测中常用的传感器，但由于压电元件存在电荷泄漏，故不适宜测量缓慢变化的压力和静态压力。 * 5.电容式压力传感器 电容式压力传感器采用变电容测量原理，将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电容的变化，测出电容变化量，便可测出压力。 平行板电容器的电容量表达式 式中ε为电容极板间介质的介电常数； A为两平行板相对面积； d 为两平行板间距。 (3-9) * 改变A、d、 ε中任意一个参数都可以使电容量发生变化。 变极距式电容压力传感器 变面积式电容压力传感器。 * ①差动变极距式电容压力传感器 改变电容两平行板间距 d 的测量方式有较高的灵敏度，但当位移较大时非线性严重。 采用差动电容法可以改善非线性、提高灵敏度、并可减小因ε受温度影响引起的不稳定性。 * 左右对称的不锈钢基座内有玻璃绝缘层，其内侧的凹形球面上除边缘部分外镀有金属膜作为固定电极，中间被夹紧的弹性膜片作为可动测量电极，左、右固定电极和测量电极经引线引出，从而组成了两个电容器。测量电极将空间分隔成左、右两个腔室，其中充满硅油。 当隔离膜片感受两侧压力的作用时，通过硅油将差压传递到弹性测量膜片的两侧，从而使膜片产生位移。电容极板间距离的变化，将引起两侧电容器电容值的改变。 电容式差压传感器 * 特点： 结构坚实，过载能力大； 灵敏度高； 精度高，其精确度可达±0.25％～±0.05％； 可以测量压力和差压。 * 图3-13 变面积式电容压力传感器 被测压力作用在金属膜 片上，通过中心柱和支撑簧片，使可动电极随簧片中心位移而动作。 可动电极与固定电极均是金属同心多层圆筒，断面呈梳齿形，其电容量由两电极交错重叠部分的面积所决定。 ②变面积式电容压力传感器 D、d——外电极内径和内电极外径 ； ε ——极板间介质介电常数； L ——极板相互重叠的长度。 * 3.2 力的测量 测力传感器种类繁多，依据不同的物理效应 和检测原理可分为 电阻应变式 压磁式 压电式 振弦式 * 1. 应变式力传感器 应变式力传感器的工作原理与应变式压力传感器基本相同，也是由弹性敏感元件和贴在其上的应变片组成。 应变式力传感器首先把被测力转变成弹性元件的应变，再利用电阻应变效应测出应变，从而间接地测出力的大小。 * 图3-25给出了常见的柱形、筒形、梁形弹性元件及应变片的贴片方式。 图3-25 几种弹性元件及应变片贴片方式 * 2. 压磁式力传感器 压磁效应:当铁磁材料在受到外力拉、压作用而在内部产生应力时，其导磁率会随应力的大小和方向而变化。 受拉力时，沿力作用方向的导磁率增大，而在垂直于作用力的方向上导磁率略有减小。 受压力作用时,导磁率的变化正好相反。 * 图3-27 压磁式传感器 压磁式力传感器由压磁元件、传力机构组成。压磁元件由其上开孔的铁磁材料薄片叠成。 压磁元件上冲有四个对称分布的孔。孔l和2之间绕有激磁绕