多碱阴极XPS分析的研究.pdfVIP

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2016-05-08 发布于安徽
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多碱阴极XPS分析的研究.pdf

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43 卷 6 期红外与激光工程 2014 年6 月 Vol.43 No.6 Infrared and Laser Engineering Jun.2014 多碱阴极XPS 分析研究 1，2 2 2 1 李晓峰，冯刘，石峰，张云昆 (1. 北夜视技术股份有限公司，云南昆明 650114 ； 2. 微光夜视技术重点实验室，陕西西安 710065) 摘要介绍了多碱阴极的特点及其在超二代像增强器中的应用。叙述了多碱阴极进行制作和封接，之后在XPS 分析仪器的预真空室中进行解封并送入仪器分析室进行分析的过程。对多碱阴极不同膜，层厚度处各元素原子的百分比进行了XPS 分析。先对多碱阴极的表面进行宽谱扫描发现元素之后再针对各个元素进行窄谱扫描，之后进行氩离子刻蚀。刻蚀一定时间后再对多碱阴极表面进行宽谱。通过氩离子刻蚀并结合，得或窄谱扫描，氩离子刻蚀一直进行到阴极玻璃窗的表面 XPS 能谱分析出、。结果了多碱阴极膜层内部不同厚度处Na 元素 K 元素和Sb 元素的原子百分比表明：多碱阴极的结，即以，，构是一种两层结构 Na KSb 为基础层，表面再吸附Cs 原子层。两层膜层中 Na KSb 基础层较厚 2 2 、而Cs 原子层较薄，厚度仅为整个阴极膜层厚度的2.7%。另外，实测多碱阴极膜层中Na 原子 K 原子和Sb 原子数量的百分比并不完全遵循 2:1:1 的化学计量比，并且在整个阴极膜层厚度范围内，三种元素的原子百分比并不保持恒定，未出现在某一位置处三种元素原子百分比达到2:1:1 的理想状态。原因是目前多碱阴极制作工艺对蒸发元素蒸发量的控制精度较低。理论和实践证明，只有获得具有严格化学计量比的Na KSb 膜层才可能获得高的灵敏度，因此，如果采用分子束外延技术来制作多碱阴 2 ，