固支梁结构的电容式RF+MEMS+开关的机电耦合模拟.pdfVIP

固支梁结构的电容式RF MEMS 开关的机电耦合模拟 固支梁结构的电容式 RF MEMS 开关的机 电耦合模拟 1 ,2 1 ,2 1 ,2 刘肖 ，伞海生 , 陈旭远 (1.厦门大学物理与机电工程学院,福建 厦门 361005; 2.厦门大学萨本栋微机电研究中心, 福建 厦门 361005) 摘 要： 用 ANSYS 有限元分析软件对 RF MEMS 开关的三种基本固支梁结构模型进行了机电耦合模拟。 通过对开关进行一系列的静态、谐振态、模态以及瞬态分析，讨论了采用不同桥膜结构的开关的激励电压、 固有频率，阻尼Q 因子、开关时间的变化。并结合基本结构的分析数据设计了一种曲臂折合式的桥膜结构， 从理论上验证了此结构在同等框架体积下，具有更低的模拟下拉电压、共振频率，开关时间，以及更稳定 的工作模态。 关键词：ANSYS；RF MEMS；机电耦合（力电耦合）；固支梁 Electrostatic and Mechanical Coupled Simulation for Fixed-Fixed Beam RF MEMS Switch Liu Xiao1.2，San haiseng1.2，Chen xuyuan1.2 (1.College of Physics and Mechanical Electrical Engineering, Xiamen University, Fujian 361005, China; 2. Pen-Tung Sah MEMS Research Center, Xiamen University, Fujian 361005, China) Abstract ： Three basic structures of MEMS RF fixed-fixed beam contact switches are simulated using ANSYS electrostatic and mechanical coupled analysis. According to the simulated result of the static, harmonic, model, and transient analysis, we have discussed the varying values of actuation voltage, inherence frequency, Q factor and switching time for different structures. Based on these simulated data, we have designed a new structure of fixed-fixed beam. The new structure would have a lower simulated actuation voltage, inherence frequency and switching time. In especially, compare to the basic model, it has much smaller vibration at work time. Key words ：ANSYS; RF MEMS; Electrostatic and mechanical couple field; Fixed-fixed 引 言 射频电子机械系统器件(RF MEMS)是指用于各种射频工程系统中的微致动控制器件， 微致动射频功能器件，以及微致动射频耦合器件。其中 RF MEMS 开关是最基础、最关键、 基金项目：国家自然基金项目）射频 MEMS 开关失效机理及其高可靠长寿命实现技术。 作者简介：刘肖，男，天津人，厦门大学 2005 级物理机电系硕士. E-mail: rainer426@ ∗ 通讯联系人：陈旭远，教授。E-mail: Xuyuan.Chen@hive.no