小孔自动测量仪及其应用技术的分析研究.pdfVIP

中文摘要 孔径测量是几何量测量中一项重要和困难的内容，当前对于外尺寸及平面尺 寸测量方面已经达到lnm乃至0．1nm很高的分辨率，然而对内尺寸的测量却远远 落在后面。目前国际上对于小孔、小斜孔、盲孔等任意截面尺寸及形状误差的高 精度测量是微小内尺寸领域内一项亟待解决的问题。 基于此现状，通过综合调研国内外小孔径测量方法，本文提出一种新型非接 触测量方法一电容式电子塞规法，以电容式测孔传感器为核心测量元件，开发一 套适用于小孔径(直径小于≯10mm的通孔、盲孑L、深孔、斜孔等)、高纵深比(高 达10～20)、任意截面高精度测量的内径自动测量系统，可有效解决同轴阻抗溯 源问题及小孔、小斜孔的孔径现实测量难题。 系统利用多项关键技术研发一种新型变极距圆柱型电容测孔传感器：采用等 位环技术消除边缘效应，采用运算放大式转换电路克服了变极距型传感器的非线 性，运用驱动电缆技术减小了寄生电容的影响：依据电容式测孔传感器非接触测 量原理，提出完善的测量方案并开发一套微小内径自动测量系统，采用CCD视 觉与二维微动平台实现测孔传感器与被测孔的自动对中，合理选择光栅编码器与 步进电机实现系统x、Y、z轴精密定位；以VisualC++为平台进行软件开发， 采用模块化设计思想开发小孔内径自动测量程序，实现真正的自动化测量；根据 斜孔测量需求及精度要求，分析小斜孔测量原理、提出孔中心线空间定位方法并 在现有系统基础上进行优化改进；提出标定及测量方案，以矽1．85mm、≯2．4ram、 矽2．92mm、矽3．5mm、≯7mm的标准环规对配套的测孔传感器进行标定，并对同 规格样件进行测量，验证系统的重复性及稳定性。 通过本文的研究和实验验证，基于变极距式电容测孔传感器开发的小孑L内径 自动测量系统是可行的、有效的。该系统的最高分辨率可达到0．15tan，重复性 精度可达到0．2／an，稳定性能达到六个小时内漂移不超过0．5／an，该指标完全可 以满足现实测量要求。 C++ 关键字：小孔孔径、斜孔测量、电容式测孔传感器、自动测量系统、Visual ABSTRACT of isan anddifficult geometryparameter measuringimportant part Aperture externaland dimensionhas resolutionratioofthe plane measurement．At present，the insidedimension far evenO．1nm．However measuringlagged reachedlnm been crosssectionand errorof for pinhole， measurement shape behind。High．precisionany andblindholeis tobesolvedinmicroinsidedimension inclined exigent pinhole field． measurement onthis a n