传感器与检测技术()要点分析.ppt

压力检测 5.1 压力单位及压力测量 压力:垂直均匀地作用于单位面积上的力。 5.1.3 压力检测的主要方法及分类 5.1.3.1 重力平衡方法 1）液柱式压力计：基于液体静力学原理。 2）负荷式压力计 基于重力平衡原理 5.1.3.2 机械力平衡方法 被测压力经变换元件转换成集中力→外力与集中力平衡→测外力大小。 5.2 常用压力检测仪表 2）波纹管 壁面具有多个同心环状波纹，一端封闭，封闭端的位移 和压力在一定范围内呈线性关系。 3）弹簧管 横截面呈非园形（椭圆形或扁形），弯成园弧形的空心管。 2）霍尔元件式 霍尔效应 5.2.3 压力传感器 5.2.3.1 应变式压力传感器 F →Δl、ΔS 、Δρ→ΔR 对于半径为r的圆导体， 应变元件种类 1．丝式应变片 2．箔式应变片 3．薄膜应变片 薄膜应变片采用真空蒸发或真空沉积等方法，将电阻材料在基底上制成一层各种形状的敏感栅，敏感栅的厚度在0.1??m以下。薄膜应变片具有灵敏系数高，易实现工业化生产的特点，是一种很有前途的新型应变片。 应变片的测量电路 作用：将阻抗参数变为电流或电压。 应变电桥的分类 应变片测量电桥(直流电桥) （1）应变片单臂工作直流电桥 （2）应变片双臂直流电桥（半桥）  （3）应变片全臂直流电桥 需满足前提： 相邻桥臂应变片变化方向相反。 且ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4 5.2.3.2 压阻式压力传感器 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应。 测量桥路及温度补偿 为了减少温度影响，压阻器件一般采用恒流源供电. 灵敏度温度漂移是由于压阻系数随温度变化而引起的。温度升高时，压阻系数变小；灵敏度降低。 5.2.3.3 电容式压力传感器 变面积型电容传感器 差动式电容传感器 运算放大器式电路 变间隙电容传感器的测量电路为运算放大器电路，如图所示。C0=200pF，传感器的起始电容量Cx0=20pF,定动极板距离d0=1.5mm,运算放大器为理想放大器(即K→∞,Zi→∞), 输入电压u1=5sinωtV。 求当电容传感动极板上输 入一位移量△x=0.15mm使 d0减小时,电路输出电压u0 为多少? (2)二极管双T型电路 5.2.3.5 压电式压力传感器 正压电效应（顺压电效应） 逆压电效应（电致伸缩效应） 压电陶瓷的压电效应 等效电路及信号变换电路 压电式传感器的等效电路 压电式传感器的信号调节电路 关键：高阻抗的前置放大器 前置放大器两个作用: 把压电式传感器的微弱信号放大； 把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 输出信号分析 压电元件的力 F=Fmsinωt 压电元件的压电系数为k，产生的电荷为Q = k·F。 车床动态切削力测量 5.3 测压仪表的使用及压力检测系统 5.3.1 测压仪表的使用 5.3.1.1 测压仪表的选择 1）精度等级选择 2）量程选择 稳定压力：最大被测压力不超过测量上限的2/3。 脉动压力：最大被测压力不超过测量上限的1/2。 高压：最大被测压力不超过测量上限的3/5。 最小被测压力一般不小于测量上限的1/3。 5.3.1.2 测压仪表的校验 标准仪表的选择原则：其允许绝对误差要小于被校仪表允许绝对误差的1/3~1/5。 有一台空压机的缓冲罐，其工作压力变化范围为13.5～16 MPa ，工艺要求最大测量误差为0.8 MPa，并可就地观察及高低限报警。试选一合适的压力表（包括测量范围、精度等级）。 解：仪表量程选择 空压机的缓冲罐的压力视为脉动压力： 根据就地观察及能进行高低报警的要求，可选用YX-150型电接点压力表，测量范围为0～40MPa。 检验量程下限： 被测压力的最小值不低于满量程的1/3，符合要求。 最大引用误差： 所以选择测量范围为0 ～ 40 Mpa，精度等级为1.5级的YX-150型电接点压力表。 二、压力检测系统 相对灵敏度: n取多少灵敏度最高? 输出电压: 且相邻桥R1,R2必须有对称变化。 前提要求：R1=R2,R3=R4 输出电压: 相对灵敏度: 相邻桥臂工作 输出电压: 相对灵敏度: 半导体电阻率 对半导体材料而言，πeσ(1+μ)ε， 故(1+μ)项可以忽略 一般材料: 桥式测量电路，桥臂 电阻对称布置，电阻变化 时，电桥输出电压与膜片 所受压力成对应关系。 压阻式压力传感器结构示意图 1—硅平膜片；2—低压腔；3—高压腔； 4—硅杯；5—引线 零点温度漂移是由于四个扩散电阻的阻值及其温度 系数不一致造成的。 ? R2