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基于光子晶体的压力传感器特性分析 　　【摘 要】设计了二维光子晶体点缺陷厚板结构，利用压力使厚板透射谱发生变化的特性制作压力传感器。结果表明，压力可以使光子晶体厚板结构产生形变，从而使缺陷模透射谱位置发生移动。选取特定频率的连续波入射，它的透射率可以随着压力的变化而变化。此结果为设计基于光子晶体点缺陷厚板的压力传感器器件提供参考。 中国论文网 /8/view-7165398.htm 　　【关键词】压力传感器；光子晶体；点缺陷；中心频率 　　【Abstract】The structure of the two dimensional photonic crystal point-defect plate was designed， then designed pressure sensor that can convert transverse stress into the changes of transmission spectrum. The results show that the pressure can deform the structure of the thick plate. Consequently， the transmission spectrum of the defect mode is shifted. The transmission of a certain frequency can change with the pressure. This result provides a reference for the design of the pressure sensor device based on the photonic crystal point defects. 　　【Key words】Pressure sensor； Photonic crystal； Point defect； Resonant frequency 　　0 引言 　　光子晶体[1]（PC）是一种将介电材料周期性排列的人造材料，按排列维度可分为一维、二维、三维周期结构，两种介质在二维平面上周期排列可称为二维光子晶体。光子晶体具有光能量带隙[2]，不管从哪个方向传播，频率处在能量带隙中的光均无法通过。如果向光子晶体材料中引入缺陷或杂质，破坏原有的周期，它便可以选择性原本处在禁带中的光波。利用这一性质可以制作各类光器件如光波导[3]、滤波器[4]。当在点缺陷处引入非线性时，点缺陷的缺陷模会随着入射光功率的变化而发生改变，利用这一原理可以制作光开关[5]、光二极管[6]。而光子晶体作为传感器方面的应用还比较少。 　　传统方法上，要使缺陷模发生移动需利用泵浦脉冲激励非线性点缺陷，点缺陷的折射率在电场能量的影响下发生变化，光子晶体结构的缺陷模也随之发生移动，向入射光频率位置靠近。原本频率不在缺陷模处而不能透射的光信号，它的透射率便会逐渐增大。本文在二维光子晶体点缺陷厚板结构中，通过压力控制光子晶体厚板结构设计了压力传感器。利用基于时域有限差分技术[7]（FDTD）的模拟软件详细分析了缺陷结构的变形对缺陷模频谱的影响。进一步地，取一固定频率的光信号入射，光信号可以在缺陷模的移动过程中，透射率逐渐发生变化，最终实现对压力的检测。该研究结果为设计压力传感器等传感器件提供重要参考。 　　1 结构模型 　　二维光子晶体厚板结构如图1所示。采用分子束外延法生长一层半导体（如ZnSe材料）薄膜，通过纳米刻蚀的方法如激光刻蚀在厚板上刻蚀等间距的空气孔构成四方点阵结构，刻蚀的空气孔的半径为R=0.3a，a表示两空气孔的中心距，定义为晶格常数，设a=1μm，板厚0.6μm ，厚板的长和宽为7μm。厚板的折射率为2.5，空气的折射率为1。通过改变中间空气孔的半径破坏光子晶体的周期性引入点缺陷，取半径d=0.1a。 　　当选定的光信号从左侧入射时，在右侧中心位置放置一探测器便可以探测到入射光信号的透射率变化。理论上，在完整二维光子晶体的能带结构中存在一定频率带宽的能量带隙，频率处在带隙中的光波将被阻止，当通过改变中间空气孔的半径来破坏周期性引入点缺陷时，原本禁带带隙中便会形成透射谱又称缺陷模，频率处在缺陷模处的光信号可以在点缺陷处谐振并透射出去，透射率增大。当在该结构一侧施加均匀压力时，光子晶体厚板结构会发生变形，从而使缺陷模的位置发生改变，那么原本能透射的光信号其透射率因为缺陷模的偏离又逐渐降低。利用该原理可以实现压力传感器的设计。 　　2 数值计算及测量 　　采用基于时域有限差分技术的模拟软件进行数值模拟，忽略边界效应带来的误差，计算得到该光子晶体点缺陷结构只存在TE模（电场与空气孔平行）的能量禁带，由图2可以