硅片包装-中国有色金属标准质量信息网.docVIP

《硅片包装》编制说明 任务来源 根据全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会文件，半材标委[2013]8号，“关于转发2013年第一批半导体材料国家、行业标准项目计划的通知”，由杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、协鑫硅材料科技控股有限公司等负责该标准的起草。 二、主要工作过程 根据任务要求2013年7月开始部署制定《硅片包装》工作。为圆满完成该标准的修订工作，成立了标准制定工作小组，查阅了YS/T 28-92《硅片包装》行业标准，并对全文进行研究，并调研了部份国内硅片生产企业，确定要修订的具体内容。 本标准的主要起草人： 王飞尧 高级工程师 孙燕 高级工程师 马林宝 高级工程师 夏根平 高级工程师 林春香 工程师 根据目前国内实际产品结构类型，硅片主要为外延片、抛光片、SOI硅片、研磨硅片、太阳能电池用硅片，其中外延片、抛光片、SOI硅片的包装形式一样，都需要为洁净包装，因此统一为洁净包装。本标准确定按：硅片洁净包装、研磨片包装、太阳能电池用硅片包装这三大类产品进行制订。并广泛的征求了有研半导体材料股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术 有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、万向硅峰电子股份有限公司等硅材料厂家意见，并积极采纳合理化意见，形成了标准草案（初稿）。2013年8月27日在深圳召开十项标准讨论会，参会单位有：中国计量科学研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司、有研半导体材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司等21家单位的25位代表。与会专家对标准逐项进行了讨论，并达成以下修改意见和建议： 1、标准名称由《半导体硅片包装》更改为《硅片包装》，扩大范围，把太阳能电池用硅片的包装也包括在内。 2、1.范围中增加太阳能电池用硅片包装。 3、2.规范性引用文件中增加《GB/T 26071 太阳能电池用硅单晶切割片》标准。 4、2.规范性引用文件中对于SEMI标准的引用，增加英文名称。 5、术语和定义中，内包装袋的英文名称 box wrap 应更改为inner box； 6、4.1包装环境表1中增加太阳能电池用硅单晶切割片包装环境的要求，温湿度的范围参考相应洁净室等级的范围。 7、4.2包装材料中，对洁净包装、研磨片包装和太阳能电池用硅片包装所用到的包装材料进行分类描述。 8、4.2.3中包装材料的承压增加“使硅片无破损”。 9、4.3包装方法中增加4.3.3太阳能电池用硅片的包装方法。 10、5.洁净包装干扰因素改为包装干扰因素，同时增加研磨片包装和太阳能电池用硅片的干扰因素。 11、5.洁净干扰因素中，洁净室百级统一更改为国标2级。 12、5.2中“应因可能避免”更改为“尽可能避免”。 会后，标准编制组根据标准会各专家提出的意见对粗稿进行了认真修改，形成了本标准草案征求意见稿。 2014年3月23日在扬州召开了《硅片包装》行业标准讨论会，参会单位有有研新材料股份有限公司、峨嵋半导体材料研究所、上海合晶硅材料有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江省硅材料质量检验中心等25家单位的36位代表。与会专家对标准讨论稿逐项进行了讨论，并达成以下修改意见和建议： 规范性引用文件中删除SEMI E1、SEMI M26、SEMI M29标准； 把5.干扰因素放在4.包装条目之前，修改后为4.干扰因素,5.包装； 4.1包装环境中“半导体硅片”修改为“硅片”； 表1包装环境中“湿度”改为“相对湿度”，研磨片包装湿度“30%－70%”改为“≤70%”，太阳能硅片包装湿度“30%－70%”改为“≤70%”； 4.2.1中删除“包装带”； 4.3.1 a)中删除“装有经过清洗、检测”；增加“保证片盒密封”。 4.3.1 d)中删除“和干燥剂一起”，句尾增加“可根据客户要求，在外包装中放入干燥剂”； 4.3.2 b)中增加“或根据客户要求数量进行隔片”； 4.3.2 e)中把“海绵”改为“填充材料”； 4.3.3 a)中“前后各放一张与硅片大小、洁净度相同的无尘纸”改为“前后各放一张与硅片大小相同，干净的隔纸或隔板”； 删除4.3.3中b)、c)、d)条款，把d)条款中1）、2）、3）、4)改为b)、c)、d)、e)； 4.3.3 d)-1)中删除“缓冲材料可以是EPE、EPP等”； 文件中“如客户另有要求的，则按客户要求”统一改为“如有其他要求由供需双方协商确定”； 4.3.3 e)中删除“堆码层数” 4.3.3 g)、h)更改为“发货组托按供需双方协商确定； 4.4.1中“产品合格证”更改为“质量证明书”，标准增加“GB/T 26071、GB/T 29055、GB/