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研磨手法の確立に向けて　２ （株）ナノオプトニクス?エナジー 高橋啓介 11/14 技術検討会＠岡山 はじめに 研磨軸の現状 パッド形状 ストライプ研磨（10/5～10/7） ストライプ研磨測定結果 全面研磨（10/20～10/27） 補正研磨（10/29～10/30） 補正前後の形状比較 研磨シミュレータの開発　１：概念 研磨シミュレータの開発　２：テスト 研磨シミュレータの開発　３：結果 研磨シミュレータの開発　４：まとめ まとめ * 前回技術検討会 7/25からの進捗 9月：研磨軸プロトタイプ完成、テスト台上にてテスト開始。 パッド形状の選定、ジョイント部の改良 10月：研削機上に研磨軸設置、３段階の研磨テストを行う ストライプ研磨 全面研磨 補正研磨 研磨（量、形状）予想のためのシミュレータを作成 ? ? ? 全面研磨の様子 スラリー供給用チューブ 中空ロータリーアクチュエータ 振り子運動用モーター 錘 ユニバーサルジョイント 1um酸化セリウムスラリー ?スラリーを不足なくパッド全面に行き渡らせる ?中心付近は周速が小さく研磨効率は良くない 　→くりぬき ?作りやすさ→条件を変えないため ?テストにてよい結果が得られること （研磨跡、異音等） 形状決定に重要なこと 「連絡付き星型」 ?外周部にもスラリーが流れ易い ?内周部にも入り、滲み出す ?それなりに作りやすい 目的：研磨によってCGH測定が可能な面を作れることの確認 　　　　研削機上で位置制御をした場合の研磨テスト ① ② ③ ④ ?首振り機能を用いて、進行方向の角度のみ調節 ?進行方向と垂直に±30mmのジグザグ（2mmピッチ） ?パッド：Φ60、230rpm、530Nパッド、錘：3.6kg ストライプ研磨を行った領域ではCGH測定に十分な面が得られた ?②、③は同じパッドを連続使用（耐久性テスト） 60mm 2mm 進行方向 Fig.3 干渉縞から求めた形状 テーブル回転中心 研削加工時の誤差 A A’ ④ ③ ② ① ?帯中心付近でのP-V:～60nm、rms:~5nm ?パッド滞在時間が最も長い中央が 深く（1.6um）研磨されたV字型の谷に ?パッドを連続使用した③の粗さは①、②に比べ 　悪い（特に、周速の大きい部分） 　→パッドの「へたり」の影響 ?首振り機能は使わず、ジョイントでワークにならわせる 　→パッド回転数を小さいものに変更（230→100 rpm） 目的：CGHでセグメント全体の測定が可能な面を作る ?パッド：Φ60、46,100rpm、錘：5.8kg,3.6kg ?５往復（58ｈ）→研削痕は残るものの、 CGH測定には十分な面（写真は4.5往復後） ?セグメントの端→パッドを15mmはみださせる 研磨パスサンプル ?端に研磨不足の領域→パッド滞在時間が短い 対策 小さいパッドで補正　 縁にダミー硝材をつけパッドを完全通過 ?CGH測定によって得られた形状誤差の大きい領域6箇所に対して実施 ① ② ⑤ ③ ⑥ ④ ①、②：スパイラル ③～⑥：ジグザグ　（①～⑤はΦ60パッド、⑥はΦ30パッド、～110rpm） 目的：狙い通りの形状、除去量に研磨する方法の確立 　　　→研磨シミュレーションを行った後、研磨開始 補正前 補正後 ?形状誤差を減らすことはできているが、細かい構造（帯の端に深い領域） 　を作ってしまっている。 ?パッドよりも小さな形状誤差を補正するのは非常に困難 →誤差の拡がりに応じて、パッド径を変更して対応する必要 T1 T2 T3 T4 T5 T1 T2 T3 T4 T5 ?非常にシンプルなシミュレータ（パッドの切り方、ワークの傾き、形状無視） １：ワークにメッシュを切り、パッドの軌跡（点）と滞在時間を決める ２：点を中心としたパッドを仮定し、周速（点からの距離）、圧力、滞在時間に応じた 　　除去量（相対値）を与える ３：実際の研磨（ストライプ研磨）と比較することで除去量の絶対値を求める 目的：実際の加工を行う前に、形状、除去量についての見積りを行う z x 0.67 1.0 0.25 0.25 0.48 0.48 予想除去量 (um) 108 54 108 108 25 25 移動速度 (mm/min) 30 60 60 60 60 60 パッド径　（mm） ⑥ ⑤ ④ ③ ② ① 番号 ?各補正ごとにシミュレーションを行い（①と②は併用） 　それぞれに目標（予想）除去量を決定し、パッドの 　移動速度を決定する。 共通条件 錘：3.6kg、回転数：～110rpm 1.0 0.8 0.3 0.27 0.5 0.8 実際の除去量 (um) 0.67 0.9 0.25 0.25 0.48 0.48 予