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玻璃基板 第四章 TFT-LCD 材料 授課大綱 玻璃特性 玻璃製造方式 玻璃發展挑戰 * 玻璃基板 玻璃是一種非晶的無機材料，其種類有鈉玻璃、硼 玻璃、鉛玻璃和石英玻璃。 鈉玻璃是一般日常生活中最普通的玻璃材料，由碳酸鈉加石灰以及矽沙所製成，色帶微綠而所見之平板和瓶管類產品均之。 硼玻璃由三氧化硼加石灰及矽砂所製成，質堅難溶、澎賬係數低，適用於製作化學儀器等實驗性物品 鉛玻璃是由氧化鉛、碳酸鈉加石灰及矽砂所製成，折光性極強而適用製作光學儀器… 石英玻璃含二氧化矽96%以上，軟化點極高，耐磨、子外線透光極高，融製困難，價格昂貴… 一般液晶平面面板顯示器所用的玻璃種類，以鈉石 灰玻璃和不含鹹性離子之玻璃為主。 * 玻璃基板 玻璃基板是TFT-LCD的主要製程原料，就是俗稱的母玻璃或素玻璃，形同大尺寸的矽晶圓，是一種高精密透明的電子零件。 玻璃在TFT-LCD產業中扮演的角色好比是半導體產業中的晶圓，因此TFT-LCD產業對玻璃基板表面精度之要求進乎完美。 TFT-LCD 製程是分別利用兩塊無鹼玻璃基板，於無鹼玻璃基板表面構裝彩色濾色片與IC 電路。 玻璃基板表面經過乾式蝕刻，將紅、藍、綠三原色與黑色以微細的結構建置於玻璃表面，成為彩色濾色片。 * 玻璃基板 IC 驅動電路則利用半導體製程，將CMOS電路建置 於玻璃表面。 基板玻璃之功能係做為彩色濾色片與IC驅動電路之 承載材料，類似半導體製程中的矽晶圓。 TFT-LCD與半導體製程同樣需要真空蒸鍍與蝕刻， 所以基板玻璃也與矽晶圓相似，必須要能忍受強酸 強鹼之腐蝕、高溫的製程環境，並且必須具備比矽 晶圓更精密的表面平整度與平面起伏度。 應用在TFT-LCD上的無鹼玻璃市場處於寡佔狀態， 由四大廠瓜分：Corning、日本旭硝子、日本電氣硝 子（NEG）及日本板硝子，其市場佔有率總合超過 90%。 * 玻璃基板由CF和TFT兩部分組成 * 玻璃基板的基本特性 玻璃基板主要應用在平面顯示器上的薄膜電晶體及 彩色濾光片二處，所需的基本要求有五項： 成分中不能含鹼金屬氧化物，以避免鹼金屬離子經由擴散作用移動至電晶體陣列中，造成電路短路； 具耐化學性，以承受高溫製程中所使用的化學藥劑； 熱膨脹係數須與薄膜電晶體陣列中的矽相近； 高玻璃應變點，使熱收縮較小(低)，有助於在TFT 製程中精確地對準光蝕刻圖形； 低的生產成本而能產製高品質的超薄平板玻璃。 * 玻璃基板的基本特性 就基板之熱特性而言，有耐熱性、耐熱衝擊性、熱 伸縮性、熱膨脹係數(Coefficient of Thermal Expansion)容許之溫度差值如下： ΔT = σ ? (μγ) / α ? E ΔT:容許溫度差σ: 彎曲強度μ: Poisson比值 γ: 黏度α: 楊式係數E: 熱膨脹係數 玻璃基板的基本特性 從技術觀點來審視玻璃基板的基本特性，可發現製 造適用於TFT?LCD玻璃基板的門檻相當高，包括 玻璃本身的材料特性，如材質、品質、耐化學性和熱特性； 玻璃成型時的表面特性，像是翹曲、波紋、粗糙度、表面凹凸、平坦度和厚度變化； 加工時或運輸過程中所造成的表面損傷。 對材料特性而言，其核心技術在找出最合適的玻璃 組成和熔解技術，包含澄清和均勻化。 對表面特性而言，其核心技術則是尋找最理想的成 型技術。 * 玻璃基板的基本特性 目前全球僅有康寧(Corning)、旭硝子(Asahi Glass Co.,AGC)、日本電器硝子(Nippon Electric Glass, NEG)、 以及板保科技玻璃公司(NH Technoglass, NHT)四家 廠商可以供應TFT?LCD用玻璃基板。 在市場需求持續成長下，除了現有廠商積極擴建熔 爐增加產量外，新的競爭者也陸續加入，如臺灣碧 悠國際光電公司。 玻璃基板的廠商 美國康寧公司市場佔有率是60-65%居世界第一位。 世界第一大玻璃生產公司為美國康寧公司於日本及韓國均有玻璃溶融爐和切割加工等工廠，該公司隨著台灣TFT-LCD產業的數千億台幣的投資而於1999年在台南科學園區投資7-8千萬美金而設立兩座玻璃溶融爐和16條後段切割加工生產線等工廠。 日本NH-Techno公司在台南科技工業區設立台灣技術玻璃 股份有限公司(Taiwan Technology Glass Co.,TTGC)。 日本旭硝子株式會社在台灣雲林科技工業區投資100億元 並設立台灣旭硝子發殷科技股份有限公司(AFT)，以浮動 式融爐法為主並生產大面積的玻璃基板。 全球各玻璃基板生產商的產品特性分析 製程技術的關鍵 TFT?LCD用玻璃基板的成型製程，主要區分為三大類型：薄板浮式玻璃製程，溢流融合下拉法製程，以及開口下拉法製程。 薄板浮式玻璃製程是把由熔爐流出的玻璃材料，以漂浮方式通過熔融