微谐振器毕业论文2要点详解.doc

本科毕业设计 （20 届） 题 目 微谐振器的动态特性分析 学 院 专 业 姓 名 班 级 学 号 指导教师 完成日期 20 年 月  诚 信 承 诺 我谨在此承诺：本人所写的毕业论文《微谐振器的动态特性分析》 均系本人独立完成，没有抄袭行为，凡涉及其他作者的观点和材料，均作了注释，若有不实，后果由本人承担。 承诺人（签名）： 年 月 日 摘 要 微电子机械系统（MEMS)是一个发展十分迅速、应用日渐广泛的领域，而MEMS传感器是应用最为广泛的MEMS器件，其中的MEMS谐振式传感器具有高灵敏度、高Q值、高稳定性、低噪声性能、低功耗等优良特性，在汽车电子、消费电子、生物医学和定位导航等领域中发挥十分重要的作用。 本文主要是对动态下MEMS谐振器的性能进行研究，而品质因数是MEMS谐振器性能指标中最重要的参数，因此首先介绍了品质因数的物理意义，讨论了影响品质因数的四个因素，并在此基础上分析了对MEMS谐振器品质因数影响最显著的空气阻尼损耗。接着讨论了空气阻尼的形成原因，说明了压膜阻尼是影响MEMS谐振器性能的主要因素之一。 根据上述的分析，重点研究动态下MEMS谐振器的性能情况。首先建立M