薄膜物理与技术真空技术基础精要.pptVIP

* 气体与器壁相互作用 * * * * * 泵的转子和定子全部浸在邮箱中。作为密封、润滑、散热介质，箱内油的作用很重要。 * 扩散泵是利用被抽气体向蒸气流扩散的现象来实现排气的，无转动或压缩部件。3 级喷嘴 扩散泵油被加热后产生大量的油蒸气，油蒸气沿着蒸气导管传输到上部，经伞形喷嘴向外喷出。由于喷嘴外的压强较低，于是蒸气会向下喷射出较长距离，形成一高速定向蒸气流。其射速可达200 m/s甚至2倍于音速以上，且其分压强低于扩散泵进气口上方被抽气体的分压强，两者形成压强差。这样真空室内的气体分子必然会向着压强较低的扩散泵喷口处扩散，跟具有较高动量和能量的超音速蒸气分子碰撞而发生动量和能量交换。气体分子在高速油分子碰撞推动下，被赶向下方，在泵下方形成密集气体分子流，在出口处被前置泵抽走，而从喷嘴射出的油蒸气流喷到水冷的泵壁上被冷凝成液体，流回泵底再被重新加热形成蒸气。 借助油蒸气的功能，使泵内进出气口间形成压强差，出口处气压大于进气口处，气体分子有从出口处向进口处进行反扩散的趋势；但因蒸气流本身形成了阻挡层，减少了气体的扩散效果。当进出口之间反压与油蒸气流的作用平衡时，泵达到了极限真空。 * 涡轮分子泵是为了适应现代真空技术对于无油高真空环境的要求而产生的一种高真空泵。涡轮分子泵是靠对气体分子施加作用力，并使气体分子向特定的方向运动的原理来工作。可以认为是极为精密的电风扇，其作用不单单送