第4章精密机械系统设计_lecture0405分析.pptVIP

第四章 精密机械系统的设计 第四节 伺服机械系统设计 伺服系统的分类 按照控制的特点分为点位控制和连续控制 点位控制系统是指控制点与点之间的位置，而对运动轨迹没有严格规定：精密工作台的定位。 连续控制系统则是用控制装置连续控制两个或多个轴同时连续运动，实现平面或空间曲线内的精密定位。比点位控制复杂，成本也比较高。 第四章 精密机械系统的设计 第五节 微位移机构及设计 一、常用的微位移机构 二、微驱动器件 三、柔性铰链 四、精密微动工作台设计要点 The End (3)滚动导轨一压电器件驱动 滚动导轨是精密仪器中常用的导轨形式，它具有运动灵活、行程大、结构较简单、精度较高等优点。但它有摩擦存在。尤其在低速运动时会有爬行现象产生。用压电器件驱动，可以得到高的位移分辨力。这种组合的微动工作台，易于实现大行程及微位移的结合。 (4)平行片簧导轨一步进电动机及机械式位移缩小机构驱动 平行片簧导轨，无间隙、无摩擦。驱动采用步进电动机，控制灵活而又方便。为获得微位移，需将步进电动机的输出用机械式位移机构缩小，如精密螺旋传动、弹性传动、齿轮传动、楔块传动等。 步进电动机与弹性缩小机构：利用两个弹簧刚度比进行位移缩小。 设二个弹簧A、B刚度分别为KA和KB， 微动台位移为x，输入位移为xi，那么 如果KA≥KB ，那么工作台的位移就被 大大缩小了，若KA：KB =99：1，那么 当xi=10μm时， x=0.1μm。 弹簧缩小机构容易产生过渡性振荡，不 适于动态工作。 杠杆式位移缩小机构： 它用于半导体制造中，使光学掩膜做 x、y两坐标位移的微动机构，它由有 1／50缩小率的两级杠杆和x、y方向可 动的平行片簧导轨组成。在±50μm 范围内，得到0.05μm的定位分辨力和 ±0. 5μm的定位精度。这种机构虽然 可用多级杠杆缩小位移，但其定位精度 受末级杠杆回转精度影响较大。 微小角度的楔块机构： 进行位移缩小的结构原理图，若楔角为 θ，输入位移为xi，那么输出位移x为 x=xi tanθ 这种方法可以获得大的缩小比和较大的 移动范围，位移分辨力可达到0.05μm。 (5)平行弹簧导轨一电磁位移器驱动 为克服丝杠螺母机构的摩擦和间 隙，可采用电磁驱动的弹簧导轨 微动工作台。 微动工作台用平行片簧导向，在 工作台端部固定着强磁体，如坡 莫合金制成的小片，与金小片相 隔适当的间隙装有电磁铁， 通过电磁铁的吸力与上述平行片 簧导轨的反力平衡，进行移动工 作台的定位。 机构的定位精度可达±0．2μm，行程较大，分辨 力可达0．01μm ，但有发热现象和易受电磁干扰。 (6)气浮导轨一步进电动机及摩擦传动 弹性导轨是为解决高分辨力而采用的， 但行程小。为解决大行程和亚微米分辨 力的矛盾，可采用气浮导轨。 气浮导轨精度高，极灵敏，无摩擦， 无磨损，运动平稳。摩擦传动无振动， 运动平稳，缩小比大，定位精度可达 ±0．1μm。 图示为用于分步重复 照相机上的气浮导轨-步进电动机及静 摩擦传动工作台。 除上述几种微位移机构外，还有用滚动导轨一电磁驱动、气浮导轨一直线电动机驱动、滑动导轨一压电器件驱动等，但应用都不如前六种广泛。 (一)压电及电致伸缩器件 1．工作原理 结构紧凑体积小，位移分辨力高。控制简单，不发热，抗干扰性好 分辨力可达到0.001μm，定位精度可达±0. 01μm。 在微位移器件中，压电及电致伸缩器是应用逆压电效应或电致伸缩效应工作的，即电介质在外电场作用下发生应变：S=dE+ME2 ； 把具有压电效应和电致伸缩效应的材料称为压电材料。常用压电材料是压电陶瓷，尤其是以锆酸铅和钛酸铅组成的固溶体使用更为普遍，以Pb(铅)、Zr(锆)、Ti(钛)这三种元素符号的第一个字母组成PZT来代表。 逆压电效应仅在无对称中心晶体中才有，而电致伸缩效应则所有压电材料都有。 利用逆压电效应工作的电介质材料称为压电晶体，如PZT；而利用电致伸缩 效应工作的电介质材料称为电致伸缩材料，如PMN(铌镁酸铅) 。 在一般的压电材料中，电致伸缩系数比压电系数大，在自然状态没有电的极化现象。需进行人工极化(先在120℃以上施加直流电场，然后冷却到120 ℃以下)使压电材料保持极化状态，即一面带正电，一面带负电。这种现象和铁磁性物质只能在居里温度以下被磁化是相似的规律，因此把压电物质也称为“铁电物质”。把压电陶瓷材料称为铁电材料。 表征压电材料性能的参数很多。主要参数有压电系数d31和d33，机电耦合系数K31和K33，电致伸缩系数M33。其中下角注分别表示极化方向与应变方向，如d31表示极化方