汤剑波YMOCVD尾气中氨气的回收和循环利用分析报告.pptVIP

目 录 前言 MOCVD氨气背景资料 氨气的理化性质 现有氨气尾气处理方法 正帆氨气回收系统介绍 总结 MOCVD背景资料 MOCVD生长GaN的反应中氨气必须大量过量： 氨气的排出量通常约为进气量的70%～80%。 截止至2011年底，国内产业化的MOCVD机台数量已达 700多台。 （数据来源于高工LED产业研究院） 2011年国内的高纯氨消耗大约在20,000吨： 直接排放或者需要处理的氨气量每年多达14,000-16,000吨。 （数据来源于各大气体公司） 氨气的物化性质 在钢瓶内以液氨形式存在 常温常压下，呈无色并具有刺激性的碱性气体 极易溶于水 氨是强结合的稳定化合物 常压下，454℃以上会产生少量分解 液氨沸点-33.43℃, 蒸发热为1,337kJ/kg 在空气中的燃烧范围为16%—25% 半数致死浓度(LC50)为7,338ppm 工作场所限制浓度阈值(TLV-TWA)为25ppm 现有氨气尾气的处理方法 喷淋吸收法 用硫酸水溶液吸收废气中的氨，为了提高氨的吸收效率，吸收液需保持一定的酸度，厂内需贮存大量的硫酸。吸收氨后，产生的洗涤塔废液为硫酸铵，目前大部分企业都是直接稀释排放，造成环境污染；少部分企业会委托专门的废弃物处理公司进行处理。 现有氨气尾气的处理方法 燃烧