1115微致動器應用技術(F).doc-TMEMS微機電產業發展聯盟.doc

微致動器應用技術研討會 奈微米機電系統(Nano/Micro-Electro-Mechanical Systems)是一個跨領域且具有高度整合之專業技能，其技術與應用涵蓋科學知識、工程技術、生物醫學乃至於建立全新之產業，已成為世界各國繼半導體產業之後相繼追求的新興整合型科技。國內在近十幾年來，亦透過政府計畫支持與產業界等投入大量的資源，並藉由台灣具備完整的半導體產業鏈以及技術研發人才的培養，希望帶動下一世代的科技產業。 工研院南分院微系統中心特別邀請到成功大學 沈聖智教授及逢甲大學 陳重德教授兩位講師。沈教授長期致力於微致動器設計，微光機電系統之研究以及LIGA-like 製程整合技術；本次主要演講議題為PVDF電紡壓電纖維於微致動器之應用。陳教授在微光機電系統，微投影技術以及MEMS致動器等技術領域有多年的研發經驗；本次主要演講議題為微獵能器技術與應用。本次研討會期望藉由二位專家分享多年研究經驗與成果，敬邀 產、學、研界等先進能踴躍參加。 議程 　微致動器應用技術研討會 時 間 講 題 主 講 人 13:00～13:20 報 到 13:20～13:30 開場致詞 南分院 微系統中心 陳易呈 經理 13:30～15:00 PVDF電紡壓電纖維於微致動器之應用 1、簡介PVDF壓電纖維 2、壓電作動原理 3、電紡PVDF壓電纖維技術 4、PVDF纖維之能量擷取裝置 5、奈米級編碼器的可行性評估 6、結論與討論 成功大學 沈聖智 教授 15:00～15:15 休 息 15:15～16:45 微獵能器技術與應用 1.獵能器應用簡介2.獵能器技術3.振動式獵能器4.寬頻式獵能器5.結論 逢甲大學 陳重德 教授 16:45～17:00 QA 南分院 微系統中心 陳易呈 經理 講師介紹 沈聖智 教授 ( 清華大學 工程科學博士 ) 專長：微致動器設計 / 微光機電系統 / 微慣性元件設計 / LIGA-like 製程技術 經歷：成功大學系統及船舶機電系 副教授 工研院微系統中心微致動系統部 經理 / 工研院機械所微系統應用組 經理 陳重德 教授 ( 成功大學 機械博士) 專長：微光機電系統 / 獵能器技術 / 微投影技術 / MEMS致動器技術 經歷[x]：逢甲大學航太系 助理教授 工研院南分院 資深工程師/ 漢翔公司 工程師 主辦單位： 經濟部技術處 執行單位： 經濟部南台灣創新園區、工研院南分院微系統中心 舉辦日期： 102年 11月15日（五）13:00～17:00 舉辦地點： 經濟部南台灣創新園區服務棟 201教室(台南科技工業區工業二路31號) 報名方式： 網路報名：.tw/LoginMember.aspx?msgnoource=seminar 費 用： 免費，歡迎有興趣者踴躍參加。 洽詢單位：工研院南分院 吳佩霖 Tel：(06)3847068，e-mail：Vivian-wu@.tw 傳真:06-3847184 【演講內容摘要】 PVDF電紡壓電纖維於微致動器之應用 本研究整合PVDF壓電纖維與平行式電極於可撓性銅基板，以建構低頻能量擷取系統，並評估應用於奈米級編碼器的可行性。其中，聚偏氟乙烯(Polyvinylidene Fluoride, PVDF) 壓電纖維是利用近場靜電紡絲製程技術(Near-Field Electrospinning, NFES)，搭配新穎之滾筒式收集方法製作完成。 實驗結果顯示在滾筒式收集方法的製程下，濃度16%的PVDF壓電纖維之楊氏系數和硬度分別為0.89 GPa及26.5 MPa，添加0.03%之多壁奈米碳管(Multi-Walled Carbon Nanotube, MWCNT)後分別增加了56.2%及49.4%達到1.39GPa和39.6MPa；抗拉強度和斷裂時之伸長量則增加了32.7%及35%，相較於傳統式(平面型)的近場靜電紡絲，滾筒式製程所製備之奈米纖維將具有更優異的機械強度。在擷取低頻振動能量的實驗上，當結構上的壓電纖維受到7 Hz的振盪頻率、0.23%的應變時，可以得到76 mV的電壓訊號；當結構受0.14%的應變時，可量測到1.1 nA的電流訊號。 微獵能器技術與應用 獵能器是將環境的能量轉換成可用電能之技術,所謂環境的能量可指光能、熱能、動能等,該技術未來可取代化學電池,應用包括WSN (wireless sensor network)、消費性電子產品等,在綠能、節能意識高漲的年代,獵能器技術可望對環境的破壞降到最低,是目前在學界及業界都很重視的研發領域,未來渴望取代電池,成為最環保的能量供應源. 102.11.15 【微致動器應用技術研討會】 報名表 公司全銜 電