激光衍射测量和莫尔条纹技术概论.ppt

* * 莫尔条纹测试技术 1、莫尔条纹测量位移 将被测几何量转换为莫尔条纹的变化 将莫尔条纹的变化经过光电转换系统转换为电信号 光栅传感器示意图 1-灯；2-聚光镜；3-标尺光栅；4-指示光栅；5-硅光电池 长度测量---长光栅 * a、测量原理 b、零位光栅 记录波形变化周期数（条纹移动数）N，光栅的位移量x=Nw c、辨向与细分 a)标尺光栅 b)指示光栅 c)零位脉冲 * 角度测量---圆光栅 d)径向圆光栅；e)形成的条纹；f)径向光栅条纹解析图 a)切向圆光栅；b)形成的环形条纹；c)切向光栅条纹解析图； * 切向圆光栅 径向圆盘光栅 条纹宽度不是一个定值，随条纹所处位置的不同而有所变化。 条纹宽度上等距分布的各点并不对应于一个节距角内光栅的等距位移。 R为圆光栅上某点的刻划半径；α为圆光栅角节距；r为小圆半径；2s为两光栅中心距。 * 光栅式位移测量特点： ①精度高：可达0.1微米 ②大量程测量兼有高分辨力 ③可实现动态测量 ④具有较强的抗干扰能力 * 2、莫尔偏折法测量光学系统焦距 -------Talbot距离 泰伯效应（Talbot）：平面波照明一个具有周期性透过率函数的物体时，会在该物体后某些特定距离上重现该周期函数的图像 * 莫尔偏折法是泰伯效应与莫尔条纹技术的结合 利用第一块光栅的Talbot像受相位物体影响的变形与第二块光栅形成的莫尔条纹发生倾斜来表示被测物体的信息。 S为待测透镜与光栅G1之间的距离；?为莫尔条纹偏转的角度，Z为Talbot距离。 * 3、莫尔轮廓术测量三维物体形貌 利用一个基准光栅与投影到三维物体表面上并受表面高度调制的变形光栅叠合形成莫尔条纹，该条纹描绘出了物体的等高线，通过莫尔条纹分布规律即可推算出被测件的表面形貌 。 a、阴影莫尔法 * b、投影莫尔法 * c、扫描莫尔法 让一块基准光栅（投影系统中的光栅G1或成像系统的光栅G2）沿垂直于栅线方向作微小移动，根据莫尔条纹同步移动的方向来确定表面的凹凸。 * 莫尔轮廓术的主要优势 ： ① 可对三维物体的粗糙表面形貌进行测量，亦可对镜面形貌测量及大尺寸表面测量； ② 是一种非接触测量 ③ 对测量装置的稳定性要求不高 ④ 易于和高速摄影技术相结合，宜测量动态三维形貌 * * * * * * * * * 《光电信息处理与检测技术》 * * ★衍射现象: 光波在传播过程中遇到障碍物时偏离直线传播，绕到障碍物的几何阴影区的现象。光的衍射现象是来自同一波前不同点的子波干涉的结果。 ★两种类型的衍射现象： 菲涅耳衍射 夫琅和费衍射 4.1 激光衍射测量基本原理 第四章 激光衍射测量和莫尔条纹技术 * 菲涅耳衍射：当光源和衍射屛都离障碍物有限远时，也称近场衍射。 夫琅和费衍射：当光源和衍射屛都离障碍物无限远时，也称远场衍射。 夫琅和费衍射计算简单，用处较多，以后所讨论的均为此类衍射。 * * 单缝衍射测量 a. 单缝衍射测量原理 * * 衍射强度分布为: 式中 , 是衍射角, 是衍射角 时的衍射强度。 由上可知: 1.衍射条纹平行于被测狭缝。 2.当 时，衍射为暗条纹。 * * b. 测量微小尺寸原理 只要能精确地测出第K级暗条纹的 ，就能计算出狭缝宽度b。 第K级暗条纹 ：零级条纹中心到第K暗条纹的距离，L：衍射屛到狭缝的距离。 * * 当狭缝的尺寸微小变化?b 时，第K级暗条纹的位置将移动 分别是第k个暗条纹在缝宽变化前和变化后距中央零级条纹中心的距离 c. 单缝衍射测量方法与应用 间隙测量法 条纹的变化数目?N * * 间隙测量法的应用：可用于测定各种物理量的变化，如应变、压力、温度、流量、加速度等。 * * 参考物和试件不在同一平面内 分离间隙测量法 * * 在P1处出现暗条纹的条件 在P2处出现暗条纹的条件 * * * 基于巴俾涅原理 互补测量法 光波照射两个互补屏（一个衍射屏的开孔部分正好与另一个衍射屏的不透明部分对应，反之亦然。），所产生的衍射图样的形状和光强完全相同，仅相位差为?。 S为暗条纹间距；xk为k级暗条纹位置 * * b值越小，波长?越大，级次 k越大，?值越大。 假设: 那么: 1. 灵敏度： d. 单缝衍射测量的技术特性 如果 的测量分辨率是 * * 狭缝b的测量误差为： 2 2 2 2 ) ( )