SEM测试方法-扫描电镜研究报告.pptVIP

2.4 SEM的成像衬度 b. 样品表面形貌观察： (a) 烧结体烧结自然表面观察。 ZnO 2.4 SEM的成像衬度 ZrO2陶瓷烧结自然表面的二次电子像 (c+t)-ZrO2 2.4 SEM的成像衬度 (b)金相表面观察：如珠光体组织。 2.4 SEM的成像衬度 2.4 SEM的成像衬度 （1）分辨率高； （2）立体感强； （3）主要反应形貌衬度。 (3)二次电子像衬度的特点： 2.4 SEM的成像衬度 2.4.2 背散射电子像衬度 a.背散射电子：是被固体样品中的原子核反弹回来的 一部分电子。 b.背射电子信号既可以用来显示形貌衬度，也可以用来显示成分衬度. c.背散射电子产额对原子序数十分敏感。（Z40） (1)背散射电子成像原理 在进行分析时，样品中原子序数较高的区域中由于收集到的背散射电子数量较多，故荧光屏上的图像较亮。因此，利用原子序数造成的衬度变化可以对各种合金进行定性的成分分析。样品中重元素区域在图像上是亮区，而轻元素在图像上是暗区。 2.4 SEM的成像衬度 背散射电子产额与原子序数间的关系 由于透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度必须保证在电子束可穿透的尺寸范围内。为此需要通过各种较为繁琐的样品制备手段将大尺寸样品转变到透射电镜可以接受的程度。能否直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，成为科学家追求的目标。经过努力