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中华人民共和国有色金属行业标准
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改良西门子法多晶硅副产品
四氯化硅
silicon tetrachloride—by-product of polysilicon in improved silemens method
???? - XX - XX发布
XXXX - XX - XX实施
中华人民共和国工业和信息化部???发布
前??言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口
本起草改良西门子法多晶硅副产品 四氯化硅
范围
本标准规定了多晶硅副产物四氯化硅的技术要求、检验验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等内容。
本标准适用于西门子法生产多晶硅产品过程中所产生的副产物四氯化硅。该产品主要作为生产光纤四氯化硅、气相二氧化硅、氢化生产三氯氢硅、有机硅和石英玻璃等产品的主要原料。
规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB 6680 液体化工产品采样通则
GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件
GB 15603 常用化学危险品贮存通则
SJ/T***.1 光纤预制棒用四氯化硅
SJ/T 2594 高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱法分析
要求
外观
产品为无色透明液体,不应有沉淀物、悬浮物及其它外来物。
技术指标
产品的技术指标应符合表1的规定。
表1
项? 目 技?术?指 标 Ⅰ级 Ⅱ级 Ⅲ级 Ⅳ级 四氯化硅, %,≥ 99.5 98.0 95.0 50.0 其他氯硅烷(以SiH2Cl2、SiHCl3计),%,≤ 0.5 2.0 5.0 / 高沸物,%,≤ 0.1 0.2 0.5 / 杂 质 元 素 限 量 硼(以B计),μg/g,≤ 0.02 2 10 / 磷(以P计),μg/g,≤ 0.01 1 5 / 铁、铝、钛,μg/g,≤ 0.1 5 50 / 总金属杂质,μg/g,≤ 0.5 10 100 /
注1:高沸物为温度高于主产物四氯化硅的其他物质。
检验方法
外观检查
产品外观质量用目视检查。
四氯化硅含量和其他氯硅烷含量
按照SJ/T*** .1 光纤预制棒用四氯化硅附录B规定的方法进行。
杂质元素含量
按照SJ/T 2594 高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱法分析进行
检验规则
检验分类
本部分规定的检验分类为:
过程检验
出厂检验
组批
生产批:以同等质量的产品为一批,可按产品罐或生长周期组批。
交货批:每一独立包装为一批,独立包装按客户需求定.
取样
取样位置:过程检验可从贮罐中或生产线上采取有代表性的样品,出厂检验可以从贮运槽车中或从同一批桶装产品中采样。
取样方法:在有高纯氮气保护,无污染的情况下采用洁净、干燥的塑料瓶或四氟装置进行取样,每批取两份,取样量不少于100ml。
由于四氯化硅遇空气极易水解,所以采样过程时间要短,采样后应立即加盖密封冷藏。
检验项目
四氯化硅含量和其他氯硅烷含量、杂质元素B、P、Fe、Al、Ti为必检项目,高沸物含量为选测项目,由供需双方共同协商。
检验结果判定
必检项目,检验结果符合本标准要求,判定产品合格。检验结果不合格时,降级使用或重新提纯后再次提交检验。
包装、标志、运输及贮存
包装
四氯化硅产品采用干燥清洁的专用槽车灌装或根据用户要求包装,包装要求密封,不可与空气接触。罐装质量不得超过槽车要求的充装质量,充装压力不得超过容器的使用压力。槽罐车及罐体应按照周期进行检验。
标识
四氯化硅包装容器上应有清晰、明显、牢固的标志,其内容包括:产品名称、批号、净质量以及GB 190《危险货物包装标志》中规定的腐蚀性标志。
运输
运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。严禁与强碱、强氧化剂、醇类、水、食用化工物品等混装混运。运输应按规定的路线行驶,途中应防高温、曝晒、雨淋,禁止在人口密集区停留。搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。
贮存
四氯化硅产品贮存地点应阴凉、干燥、通风良好的区域,储罐应设置防静电接地装置和避雷装置,并远离火种、热源。在符合本标准包装、运输和贮存条件下,自生产之日起,本产品保质期为6个月,逾期可按本标准重新检验,检验结果符合本标准要求时,仍可继续使用。
安全
四氯化硅遇水强烈水解成硅酸和氯化氢酸雾。接触其蒸气可引起接触性皮炎,接触液体可致皮肤和粘膜灼伤。四氯化硅对眼、上呼吸道粘膜有强烈的刺激作用,高浓度时起
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