图5 反射式液晶空间光调制器结构 图6 SLM强度调制特性测量光路图 2、强度调制特性测量 图7 反射型液晶空间光调制器振幅调制特性测量光路图 3、相位调制特性的测量 当液晶屏上未加灰度图像或者加等灰度图像的时候,产生的干涉条纹是等间距的,由物理光学中光的干涉原理可知:两束光发生干涉的时候,干涉条纹记录了两束光波迭加时的光强分布,干涉场中的光强度可表示为: 其中 是固定点上的两束光的相位差, 为单束光在这一点的强度。由公式可知,光强度 的周期为 。即干涉条纹中两亮条纹或两暗条纹的间距代表它们之间的相位差为 这样我们就可以利用这个特性来分析液晶屏的相位调制特性 为此,我们可以在液晶屏上加一幅灰度不同的图像,由于不同的灰度其对应的相位调制量不同,因此,这样CCD接受的干涉条纹图对应部分也必然有相对的移动。从条纹的移动我们可以计算出对应的相位调制量。如果知道条纹的周期 和条纹的相对移动量 相位的改变量可以用以下公式来计算: 图8 透射型空间光调制器相位调制特性测试光路 图9 反射型相位调制特性测量光路图 (a) (b) 图10灰度图和干涉条纹 图11 相位调制特性曲线 POL:30度 图1
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