电容式微加速度传感器微机电剖析.pptVIP

LIGA是一种是一种基于x射线光刻技术的三维微结构加工技术，主要包括x光深度同步辐射光刻、电铸制模和注模复制三个工艺步骤，它与牺牲层技术相结合可在一个工艺步骤中同时加工出固定的和活动的金属微结构，省去了调整和装配的步骤，特别适合于制作敏感质量块．悬臂梁结构的电容式微加速度传感器。 * 成 员：何 志 鹏 赵 威 葛 阳 学 院：机械电子工程学院 日 期：2013年11月12日 应用现状与发展趋势 分类 工作原理 掩膜设计及工艺流程 1 2 3 4 心得体会 5 电容式微加速度传感器： 1、 应用现状 2、 发展趋势 . 应 用 现 状 与 发 展 趋 势 1 正朝着高度集成化、高精度、多功能、智能化的方向发 展，在与其他微传感器结合成多功能的传感器组合后，其应 用领域将进一步拓展。 电容式微加速度传感器是一种廉价而性能优越、便于大 批量生产的传感器，具有体积小、重量轻、精度高、功耗低 、稳定性好的特点，在汽车、军工、科学测量、工业控制等 领域有广阔的应用前景。 .加速度微传感器分类 2 压阻式 电容式 压电式 谐振式 热传导式 隧道式 光纤式 按加工方法分：主要有立体硅工艺式、表面硅工艺式、LIGAI艺式； 按工作方式分：有开环和