SPM3讲3.1.2.pptVIP

* 第三讲 原子力显微术AFM AFM仪器（SPM -9500 J3）操作示意图 * 3．1 AFM基础知识 3．1．1 工作原理 AFM是利用一个对力敏感的探针探测针尖与样品之间的相互作用力来实现表面成像的。 将一个对微弱力极敏感的弹性微悬臂一端固定，另一端的针尖与样品表面轻轻接触。当针尖尖端原子与样品表面间存在极微弱的作用力(10-8～10-6 N)时，微悬臂会发生微小的弹性形变。 * 图3—1 AFM原理示意图 (Hooke Law) F＝k?Δz (3—1) * 针尖和样品之间的力F与微悬臂的形变Δz之间遵循虎克定律. 其中，k为微悬臂的力常数。 测定微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。 针尖与样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖和样品之间的作用力恒定，即保持微悬臂的变形量不变，针尖就会随表面的起伏上下移. * 记录针尖运动的轨迹,这种检测方式被称为“恒力”模式(Constant Force Mode) 。 AFM的图像也可以使用 “恒高” ( Constant Height) 模式来获得，也就是在x、y扫描过程中，不使用反馈回路，保持针尖与样品之间的距离恒定，检测器直接测量微悬臂z方向的形变量来成像。 这种方式可以采用更高的扫描速度，通常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于表面起伏较大的样品不适合。 * 3．1．2 微悬臂形变的检测方法 AFM是通过检测微悬臂形变的大小来获得样品表面的图像的，所以微悬臂形变检测至关重要。 到目前为止，检测微悬臂形变的方式主要有以下几种[4~7]： * ①隧道电流检测法； ②电容检测法； ③光学检测法； ④压敏电阻检测法。 由于针尖与样品之间的作用力为微悬臂的力常数和形变量的乘积，所以无论哪种检测方法，都应不影响微悬臂的力常数，而且对形变量的检测须达到纳米级以上。 * ①隧道电流检测法 Binnig，Quate和Gerber的第一台原子力显微镜就是采用的隧道电流检测法。将微悬臂作为一个电极，在微悬臂上方设置一个STM针尖作为另一个电极. 微悬臂的微小变形就会引起隧道结距离的变化，从而引起隧道电流的剧烈变化，通过反馈回路控制AFM样品和STM针尖做相反的运动，保持隧道电流的恒定，也就是保持隧道间隙的恒定，就可以获取表面形貌的高分辨图像。 * 隧道电流法的灵敏度相当高，z方向的分辨率可以达到0.01nm，但是信噪比比较低。主要原因有两个： 一是在大气环境下工作时，微悬臂或者STM针尖的污染会造成隧道电流无法准确测定； 二是微悬臂的热振动和热漂移会造成隧道电流的较大变化，热噪音的水平较高。 * ②电容检测法 平行板电容器的电容和极板之间距离成反比。如果将微悬臂作为一个电容极板，在微悬臂上方设置一块与微悬臂平行的极板，二者就构成电容器。 微悬臂的变形会造成极板之间距离的变化，保持扫描时电容值恒定，就可以获得样品表面的形貌信息。这种检测方法的灵敏度较低，z方向的分辨率只能达到0.03nm。 * ③光学检测法； 光学检测法包括 光学干涉法、光束偏转法两种。 1987年Martin提出了差动式光学干涉法检测微悬臂形变量的原理[8]： 参考光束和探测光束为相互正交的线偏振光，一束为P偏振光，一束为S偏振光，两束光分别探测微悬臂的固定端和针尖部位，经过微悬臂的反射以后，两束光发生干涉，干涉光的相位与探测光束的光程相关。 * 由于光学干涉法的光束直径较大，所以对微悬臂上的微小污染和表面粗糙度都不敏感，所以信噪比比较高. =检测手段中，这种方式的检测精度最高，z方向的分辨率高达0.001nm。 光束偏转法 1988年Meyer等发展了光束偏转法[9]，其原理是: 微悬臂的形变可以通过反射光束的偏移量来表征. * 将激光器发出的激光聚焦在微悬臂的背面，从具有反射面的微悬臂的背面反射进入位置灵敏的光电二极管检测器[Photodiode，(Position Sensitive Detector，PSD)]，微悬臂的形变通过反射光束的偏移量来表征。 通过反馈回路控制反射光束偏移量恒定，便可以对表面进行成像。光束偏转法的精度很高，当激光的波长为670nm时，极限分辨率可以达到0.003nm。 * 图3-2 具有衍射光栅结构的交指型微悬臂