光电测试技术激光衍射测试技术分析报告.ppt

光电测试技术  引 言 光波在传播过程中遇到障碍物时，会偏离原来的传播方向，绕过障碍物的边缘而进入几何阴影区，并在障碍物后的观察屏上呈现光强的不均匀分布，这种现象称为光的衍射。使光波发生衍射的障碍物或者其它能使入射光波的振幅或位相分布发生某种变化的光屏称为衍射屏。 激光出现后，由于它具有高亮度、相干性好等优点，使光的衍射现象在测试技术中得到了实质性应用。 激光衍射测试技术是一种高准确度、小量程的精密测量技术，应用比较广泛。 通常把衍射现象分为二类： 1）菲涅耳衍射，光源和观察屏（或二者之一）离开衍射屏距离有限，又称为近场衍射； 2）夫琅和费衍射，光源和观察屏距离衍射屏都相当于无限远，因而又称为远场衍射。 按传播距离划分衍射区 §4-1 激光衍射测试技术基础 §4-1 激光衍射测试技术基础 4.1.1 单缝衍射 夫琅和费衍射的计算比较简单，特别是对于简单形状孔径的衍射，通常能够以解析形式求出积分，并且夫琅和费衍射是光学仪器中最常见的衍射现象。激光衍射测量的基本原理是利用激光的夫琅和费衍射。 ①夫琅和费衍射实验装置 §4-1 激光衍射测试技术基础 4.1.1 单缝衍射 ②单缝夫琅和费衍射强度分布 用振幅矢量法或衍射积分法都可以得到缝宽为b的单缝夫琅和费衍射光强分布表达式： 其中 其分布如图示。 §4-1 激光衍射测试技术基础 4.1.1 单缝衍射 ③单缝测量的基本公式 易知，衍射条纹平行于单缝方向。当 ，且k取整数时，出现一系列暗条纹。利用暗条纹作为测量指标，就可以进行计量。 当θ不大时： 因此缝宽b可以写成 §5-1 激光衍射测试技术基础 4.1.1 单缝衍射 ③单缝测量的基本公式 利用被测物与参考物之间的间隙所形成的远场衍射可以实现测量，如图示。 当被测物尺寸改变δb时，相当于狭缝尺寸b改变δb，衍射条纹的位置也随之改变： §5-1 激光衍射测试技术基础 4.1.1 单缝衍射 ④单缝衍射测量的分辨力、准确度和量程 测量分辨力—能分辨的最小量值： 测量合成标准不确定度 测量量程一般为0.01~0.5mm。 §4-1 激光衍射测试技术基础 4.1.2 圆孔衍射 当平面波照射到圆孔时，其远场夫琅和费衍射像是中心为圆形亮斑、外面绕着明暗相间的环行条纹—艾里斑： §4-1 激光衍射测试技术基础 4.1.2 圆孔衍射 §4-2 激光衍射测试方法 利用衍射条纹进行精密测试，其方法归纳起来分为两大类: (1)记录固定点衍射强度的方法(图a中A和B点)； (2)记录衍射分布特征尺寸(指衍射分布极值点之间的距离或角量)的方法(图b中的t) §4-2 激光衍射测试方法 4.2.1 间隙测量法 间隙测量法是基于单缝衍射原理。 间隙测量法的基本装置示例 §4-2 激光衍射测试方法 4.2.2 反射衍射测量法 反射衍射法是利用试件棱缘和反射镜构成的狭缝来进行衍射测量的。 §4-2 激光衍射测试方法 4.2.2 反射衍射测量法 θ角一般是任意的，测得某一入射角θ位置的两个xk值代入公式，联立解出θ值和b值。 从实例可见，该法易于实现检测自动化，其检测灵敏度可达2.5～0.025μm。 §4-2 激光衍射测试方法 4.2.3 分离间隙法 在实际测量中，常会遇到组成狭缝的两棱边不在同一平面内，即存在一个间隔z。此时衍射图形出现不对称现象。测两次，联立求解。 §4-2 激光衍射测试方法 4.2.4 艾里斑测量法 艾里斑测量法是基于圆孔的夫琅和费衍射原理，可进行微小孔径的测量。 §4-2 激光衍射测试方法 4.2.5 衍射频谱检测法 激光衍射频谱检测法是利用衍射条纹傅里叶变换面上的频谱变化，对工件表面缺陷进行检测，可应用于金属筛孔、集成电路掩膜、纤维、线材以及硅片等表面检测。 其主要检测方法有两种：傅立叶变换检测法和二次傅立叶变换检测法。 §4-2 激光衍射测试方法 4.2.5 衍射频谱检测法(二次傅立叶变换检测法举例：) 检测过程如下：首先将一块标准试样（或合格品）放在图示的4的位置上，获得傅里叶变换图，摄取在照片上，其负片是一张空间滤波器。这种滤波器的制作是这种检测方法的关键。检测时，将这张滤波器置于图中6的位置上，把被检测件置于4的位置上。如果试件上有缺陷，通过逆傅里叶变换（透镜）后就能在观察屏8上看到亮点。亮点表示试件在这个对应位置上存在缺陷。 检测大规模集成电路掩膜缺陷时，可以达到0.8μm的检测分辨力。 §4-3 衍射光栅 §4-3 衍射光栅 4.3.1 衍射光栅 能够使入射光的振幅或位相，或者两者同时产生周期性空间调制的光学元件叫做衍射光栅。 分类：根据利用反射光还是透射光，衍射光栅可分为反射光栅和透射光栅