原电池法制备硅纳米线研究.pdfVIP

摘要 摘要 硅纳米线是目前一种比较新型的一维半导体纳米材料，由于其自身的 电、光学等特性引起了科学界众多研究者的广泛关注。电镜、拉曼光谱、能 量色散X射线分析(EDS)等方法都是有效地表征硅纳米线的手段。近年来 硅纳米线在合成其他纳米材料的模板方面及高性能场效应晶体管、场发射显 示器等许多纳米器件的应用方面的研究已经取得了显著成果，使得硅纳米线 可能成为纳米电子学领域的一种非常有潜力的材料。 本文采用的是原电池两步法制备硅纳米线，这是一种在前人的基础上采 用的较新的方法。与其他方法相比，原电池两步法不需要外接电源，操作简 单，对环境要求不高，并且成本较低，刻蚀速度快，附着较容易。 本文研究了两步法制得的样品的形貌结构，对它的光致发光现象进行了 分析。并且文中还尝试采用铂硅原电池法、镍硅原电池法和光照法制备硅纳 米线，与两步法制成的样品进行简单的比较。并且对不同浓度刻蚀液做出的 样品形态作了简单观察，分析了这些因素对实验的影响。 如果刻蚀的时间足够长，硅基会被穿透，并且最终被完全溶解。将制得 的样品振荡碎，结果发现两步法制备的硅纳米线还具有一定的韧性，部分硅 纳米线出现弯曲而没有折断。 目前，在实验室里，硅纳米线的工艺掺杂和纳米器件方面的研究已经取 得了一定的成果，但关于硅纳米线的一些特性及研究者们发现的现象还有待 一步去研究和证实。本文在用原电池两步法制备硅纳米线的过程中，Ag对于 实验和硅纳米线的PL特性的影响，以及两步法制得的硅纳米线的光吸收率 等问题都有待进一步研究。 关键词：原电池硅纳米线PL特性 Il Abstraff Abstract Siliconnanowiresisanew ofone-dimensionalsemiconductor type in scientific of nano．material community recently．The othermethods X-rayanalysis(EDS)and dispersive Raman．spectroscopy,energy the meansofcharacterizationofsiliconnanowires．In areeffective application ofothernanometermaterials field-effect research template，high—performance deviceshasmaderemarkable emissionand other transistors，fielddisplaymany siliconnanowiresbecomea asaresultthe verypotential results，and may nano．electronicsfield． materialof