X射线光电子能谱--(第一部分)XPS讲课.pptVIP

* * * * * * 化学位移的影响因素 从化学位移的理论表达式可知，首先化学位移和原子所处的形式电荷有关。当原子所在环境中，失去的形式电荷越高，具有正电荷呈氧化态，其结合能高于自由原子的结合能，化学位移为正，反之，得到电荷，化学位移为负，见下表。 对于具有相同形式电荷的原子，由于与其结合的相邻原子的电负性不同，同样也可以产生化学位移。一般可用净电荷来评价，一般与电负性强的元素相邻的原子，其电荷密度为正，其化学位移也为正。对于一些固体物质，还必须考虑弛豫效应的影响。 * * 典型化合物的化学位移 * * 化学位移的影响因素 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 清华大学材料与表面组 清华大学材料与表面组 第七章χ射线光电子能谱分析 * * 电子能谱学的定义 电子能谱学定义为利用具有一定能量的粒子（光子，电子，离子，中性粒子）轰击特定的样品，研究从样品中释放出来的电子或离子的能量分布和空间分布，从而了解样品的物理化学基本特征的方法。 入射粒子与样品中的原子发生相互作用，经历各种能量转递的物理效应，最后释放出的电子和粒子具有样品中原子的特征信息。 通过对这些信息的解析，可以获得样品中原子的各种信息如元素的含量，物质的电子结构，元素化学价态等。 * * 电子能谱的种类 电子能谱学的内容非常广泛，凡是涉及到利用电子，离子能量进行分析的技术，均可归属为电子能谱学的范围。根据激发粒子以及出射粒子的性质，可以分为以下几种技术。紫外光电子能谱（Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy，UPS），X射线光电子能谱（X－ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）,俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES），离子散射谱（Ion Scattering Spectroscopy，ISS），电子能量损失谱（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS）等。 * * * * 本章的主要内容 χ射线光电子能谱（XPS） 基本原理 仪器装置 实验技术与分析方法 典型应用 * * 光电效应的发现 Einstein关系式 光电子能谱的建立 光电子能谱的应用 光电子能谱的发展趋势 7.1χ射线光电子能谱基本原理 光电子能谱发展历史 * * 发展历史 1905 Einstein建立光电理论解释了碱金属经光线辐照射产生光电流的光电效应； 40-50年代发现用χ射线照射固体材料并测量由此引起的电子动能的分布，但当时可达到的分辩率还不足以观测到光电子能谱上的光电子峰。 1958年，K.Siegbahn首次观测到光电子峰现象，并发现此方法可以用来研究元素的种类及其化学状态 。“化学分析光电子能谱（Eletron Spectroscopy for Chemical Analysis-ESCA） * * 60年代以来，随着微电子，超高真空等技术的发展，以及新材料对表面分析的计算机技术的需求，渐渐形成了χ射线光电子能谱测试技术。 60年代开始研研究仪器，70年代，出现商用仪器。目前，正朝着多功能，小面积，图像化，微区分析，自动化方向发展，主要生产商：PHI公司，VG公司，Karatos 公司。 * * XPS特点 XPS的主要特点是它能在不太高的真空度下进行表面分析研究，这是其它方法都做不到的。当用电子束激发时，如用AES法，必须使用超高真空，以防止样品上形成碳的沉积物而掩盖被测表面。χ射线比较柔和的特性使我们有可能在中等真空程度下对表面观察若干小时而不会影响测试结果。 此外，化学位移效应也是XPS法不同于其它方法的另一特点，即采用直观的化学认识即可解释XPS中的化学位移，相比之下，在AES中解释起来就困难的多。 * * 光电过程机理 光与物质的相互作用 光电离激发过程 光电效应 光电离几率 * * 光线与物质的相互作用 反射：光子能量不损失 吸收：光子能量转化为热能 光电离：光子能量转化为电子能量 光电离过程一般为单光子，单电子过程； 光电离过程是量子化的，光电子能量也是量子化的，与原子轨道有关； 只要光子能量足够，可以激发出所有轨道电子； 对气体是电离能，对固体还需要考虑功函数的影响； * * 光电效应 hν + A A*+＋ e- 当一束光子辐照到样品表面时，光子可以被样品中某一元素的原子轨道上的电子所吸收，使得该电子脱离原子核的束缚，以一定的动能从原子内部发射出来，变成自由的光电子，而原子本身则变成一个激发态的离子。 * * 光电离几率 电离过程中激发产生光电子的强度与整个过程激发的几率有关，该几率称为电离截面