第8章光电式传感器B概述.ppt

* 第8章 光电式传感器B 8.2 固态图像传感器 　高集成度半导体光敏传感器。 　三大类： 　　电荷耦合器件（CCD） 　　MOS型图像传感器（CMOS） 　　电荷注入器件（CID） 8.2.1 电荷耦合器件（CCD） 　特点：光电转换功能、信息存储功能、延时功能、集成度高、功耗小。 　作用：数码相机、数码摄像机、扫描仪等作为图像传感器。 　电荷耦合器件（Charge Couple Device, 缩写为CCD）是一种大规模金属氧化物半导体（MOS）集成电路光电器件。 1. MOS光敏元的结构及原理 　MOS光敏元的结构（MOS电容） 图8-24 MOS光敏元的结构 （a）MOS光敏元截面 （b）势阱图 　电荷存储原理：栅极加正（负）电压――半导体中形成势阱――易于俘获电子（空穴） 　成像原理：内光电效应――电子落入势并存储（光生电荷）――电子数与光强成正比。 2. 电荷转移原理 电子向深势阱转移（VG2＞VG1） 3. CCD的工作原理 　三相脉冲：相间依次相差120O，上升陡峭、线性下降的脉冲波形。 　电荷转移：脉冲作用下势阱深度发生变化，电荷移动。 图8-26 CCD输出端结构 　　电荷输出：在CCD阵列的末端衬底上制作一个输出二极管，当输出二极管加上反向偏压时，转移到终端的电荷在时钟脉冲作用下移向输出二极管，被二极管的PN结所收集，在负载RL上就形成脉冲电流Io。输出电流的大小与信号电荷大小成正比，并通过负载电阻RL变为信号电压Uo输出。 4. CCD图像传感器 　结构：大量的MOS光敏元＋相关电路集成。 　线列型：256，512，……，2048个单元。 　面阵型：256 X 320，……个单元。 图8-27 线型CCD图像传感器 （a） 单行结构； （b） 双行结构 图8-28 面型CCD图像传感器结构  (a) 线转移型； (b) 帧转移型； (c) 隔离转移型 图8-37 CCD图像传感器工件尺寸检测系统 5. 应用示例 8.2.2 CMOS图像传感器 光敏元结构：将MOS－FET的源区充当感光部分（与基底形成光敏二极管）。 8.3 光纤传感器 　光纤传感器是20世纪70年代中期发展起来的一种新技术。 　光纤传感器与传统的优点：不受电磁干扰，体积小，重量轻，可绕曲，灵敏度高，耐腐蚀， 高绝缘强度，防爆性好，集传感与传输于一体，能与数字通信系统兼容等。 　光纤传感器能用于温度、压力、应变、位移、速度、加速度、磁、电、 声和PH值等70多个物理量的测量，在自动控制、 在线检测、 故障诊断、安全报警等方面具有极为广泛的应用潜力和发展前景。 8.3.1 光纤的传光原理 1. 光纤的结构 　光导纤维简称光纤，它是一种特殊结构的光学纤维，结构如图所示。 图8-39 光纤的基本结构 光纤为多层介质的同心圆柱体。 纤芯（传光）：SiO2 + GeO2（微量，以提高折射率）等，Φ5-75μm 包层（反光）：SiO2 + B2O2（微量，以降低折射率）等，Φ100-200μm 保护层（保护）：硅铜或丙烯酸盐 护套（保护及区分型号）：塑料 2.光的折射 当入射光角度增大时，折射光成为反射光。 3. 光纤的传光原理 图8－40　光纤的传光原理 光纤的传输是基于光的全内反射。 　当光线射入一个端面并与圆柱的轴线成θi角时，在端面发生折射进入光纤后, 又以φi角入射至纤芯与包层的界面，光线有一部分透射到包层，一部分反射回纤芯。 　 但当入射角θi小于临界入射角θc时，光线就不会透射界面，而全部被反射，光在纤芯和包层的界面上反复逐次全反射，呈锯齿波形状在纤芯内向前传播，最后从光纤的另一端面射出，这就是光纤的传光原理。 *