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电光效率高;功率输出高(数千瓦/米);光束质量较差; 4)横向快流CO2激光器 常用于激光热处理:激光淬火,表面熔覆等 5) 横向激励高气压 CO2激光器( TEA) 电极面积大,放电距离短; 脉冲输出能量大(数千焦尔);峰值功率高达1012w 思考题: 1)比较激光加工中的CO2激光器与YAG激光器 波长.功率.模式.发散角.倍频.传输.成本与维护等 2)比较射频激励封离型CO2激光器.轴快流CO2激光器以及横流CO2激光器的特点(功率.模式.发散角.成本与维护等) 1.3.3 准分子激光器 准分子—在激发态结合为不稳定分子,基态离解为原子 1)准分子激光器的工作原理 激光跃迁发生在束缚的激发态与弱束缚的基态之间;常采用快速放电激励方式 2)准分子激光器的特点 1.波长短(紫外193—351nm);单光子能量高,作激光冷加工;激光微加工 2.量子效率高,输出能量高; 3.高频率短脉冲;峰值功率非常高; 4.波长可调谐; 一)半导体激光器的基本结构—在GaAs单晶片上外延生长掺杂Al.Ga.As单晶层,形成异质结;在N型与P型之间的电子与空穴结合时辐射激光。 1.3.4 半导体激光器 (GaAs, InP) 器件小;电流直接注入泵浦;效率高;可集成大功率;可直接调制到很高频率; 二)半导体激光器的工作原理 三个基本条件: 1)激活介质内要实现载流子的反转分布;在半导体两边形成P区与N区;P区过剩空穴(正电位);N区过剩电子(负电位);当电子与空穴结合就放出光子; 2)电流注入方式泵浦;激励源将电子从能量较低的价带激发到能量较高的导带;加正向电压(正极接P区)对有源层内注入非平衡载流子;促使N区向P区注入电子;从P区向N区注入空穴;使更多的载流子结合,就稳定出光; 3)合适的谐振腔:利用半导体晶体的自然解理面形成F-P谐振腔(解理面的反射率约R=30%); 当注入电流足够大,激活介质提供足够大的增益,增益大于损耗,形成稳定的激光输出。 半导体激光器的结构与参数 双异质结激光器能有效地把载流子和光场限制在P-GaAs薄层有源区内,光增益大,损耗小; 1)阈值电流—当正向注入电流大于阈值电流,有源区内实现粒子数反转,受激辐射占优势,才能出激光。阈值电流随温升而加大。 2)激光器的效率—功率效率与器件的材料.结构.脉冲频率.脉冲宽度等因数有关。效率随温升而减小。 3)方向性—发光区很薄,衍射角很大,方向性很差;在垂直于结平面方向发散角达几十度;需要加光束整形系统。 三)半导体激光器的基本特性 例如:1cm宽的条形基质制造25个独立发射元,一条线阵可出百瓦。 新垂直腔表面发射激光器 功率不大,但可制造在同一晶片上成大规模二维阵列,是光通信与光二维计算机的重要器件。 LD条形阵列 1.3.5. 光纤激光器 一) 光纤激光器的特点(掺饵光纤放大器) 1.光纤激光器结构简单,体积小巧,运行可靠,维护方便; 2.光纤激光器可在低功率泵浦下实现连续稳定运转,耗能小,效率高;散热面积大,可风冷; 3.光纤激光器的幅射波长由基质材料的稀土掺杂剂决定,选取泵浦效率高的短波长激光二极管作泵浦源,可实现红外激光输出; 4.光纤激光器容易与光纤器件如调制器.耦合器.偏振器等相容;实现全光纤系统; 5.光纤激光器输出功率高,光束模式好,接近衍射极限; 二)光纤激光器工作原理 三)双包层光纤激光器 泵浦光在内包层和外包层之间来回反射,多次穿过纤芯,耦合效率高达70% 掺镱Yb3+双包层光纤激光器 光束质量好,转换效率高(80%),输出功率大(可达千瓦级),结构紧凑,稳定性极高,不受环境影响,长时间免维护; 掺镱Yb3+光纤的光谱特性 吸收谱很宽,发射谱也宽 双包层光纤结构 LD LD LD LD LD LD 掺稀土离子光纤 LD LD LD LD LD LD 光栅1 光栅 2 激 光 输 出 外界入射短波光作用纤芯,形成永久性折射率光栅,如同窄带滤光器或反射镜,起到选频.反馈和输出的作用。 1)波长5mm, 发散角小,聚焦能量密度比CO2激光高4倍; 2)波长短,材料吸收率高,有利于激光加工; 3)电效率高,比CO2激光高20%; 4)但工作气体要冷却到200oK左右的低温; 5)工作气体劣化较快,设备及运行费用较高; 高功率CO 激光器 自锁模掺钛兰宝石飞秒脉冲激光器 脉宽极窄(十飞秒级),极高的峰值功率;作超精细加工 1.3.6 其他激光器 1.4 激光加工用光学系统 激光束传输.聚焦和观察系统 1. 激光扩束镜 2. 反光镜光路传光系统 3. 激光的光纤传输系统 4. 激光聚焦镜 5. 观察系统 一) 激光窗口和透镜材料: 1) YAG激光窗口和透镜材料:石
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